[实用新型]一种半导体平面用的研磨装置

权利要求书

1.一种半导体平面用的研磨装置，包括研磨机台(1)，其特征在于：所述研磨机台(1)顶部的中心转动连接有旋转台(2)，所述旋转台(2)顶部的一侧固定设置有夹紧基座(20)，所述夹紧基座(20)的顶部滑动连接有夹紧传动爪(18)，所述夹紧基座(20)内壁的一侧固定安装有夹紧电缸(19)，所述旋转台(2)顶部的另一侧固定设置有固定基座(21)，所述旋转台(2)顶部的两端均固定设置有传动基座(25)，两个所述传动基座(25)的顶部均滑动连接有夹紧滑块(24)，所述旋转台(2)顶部的中心固定设置有放置台(26)，所述放置台(26)与旋转台(2)连接处的外侧开设有若干个均匀分布的漏液孔(23)，所述研磨机台(1)顶部的一侧固定设置有支撑架(3)，所述支撑架(3)的内侧滑动连接有升降基座(6)，所述升降基座(6)的一端固定安装有驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端穿过升降基座(6)固定连接有传动丝杆(12)，所述传动丝杆(12)的中部螺纹连接有传动滑块(8)，所述传动滑块(8)的正面滑动连接有研磨箱(7)，所述研磨箱(7)的背面开设有缓冲滑槽(16)，所述缓冲滑槽(16)内壁的顶部固定设置有缓冲弹簧(17)，所述研磨箱(7)的内部固定安装有研磨电机(15)，所述研磨电机(15)的输出端穿过研磨箱(7)固定连接有研磨盘(14)，所述研磨箱(7)的正面固定设置有乳液滴头(13)，所述支撑架(3)内壁顶部的两侧均固定安装有电动升降杆(5)，所述支撑架(3)的一侧固定安装有研磨乳液喷滴设备(10)，所述研磨乳液喷滴设备(10)的一端固定连通有连通软管(9)，所述研磨机台(1)顶部的一端固定安装有操作屏(11)，所述操作屏(11)的一侧固定安装有启动开关，所述研磨机台(1)内壁顶部的中心固定设置有防护箱(28)，所述防护箱(28)的内部固定安装有减速电机(29)，所述研磨机台(1)内壁的底部固定设置有废液池(30)，所述研磨机台(1)内壁的一侧固定安装有控制器(27)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述夹紧电缸(19)的一端与夹紧传动爪(18)的一侧固定连接，所述夹紧传动爪(18)的两端分别与两个夹紧滑块(24)的顶部滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述固定基座(21)的一端和两个夹紧滑块(24)的一端均固定设置有夹紧弧板(22)，且三个所述夹紧弧板(22)对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述缓冲弹簧(17)的底部与传动滑块(8)顶部的一侧固定连接，两个所述电动升降杆(5)的底部分别与升降基座(6)顶部的两侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述连通软管(9)的一端与乳液滴头(13)的顶部固定连通。

6.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述减速电机(29)的输出端穿过防护箱(28)与旋转台(2)底部的中心固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体平面用的研磨装置，其特征在于：所述驱动电机(4)、两个电动升降杆(5)、研磨乳液喷滴设备(10)、操作屏(11)、研磨电机(15)、夹紧电缸(19)和减速电机(29)均与控制器(27)电性连接，所述控制器(27)通过启动开关与外接电源电性连接。