[实用新型]一种半导体平面用的研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体平面用的研磨装置，包括研磨机台，研磨机台顶部的中心转动连接有旋转台，旋转台顶部的一侧固定设置有夹紧基座，夹紧基座的顶部滑动连接有夹紧传动爪，夹紧基座内壁的一侧固定安装有夹紧电缸，旋转台顶部的另一侧固定设置有固定基座，旋转台顶部的两端均固定设置有传动基座，本实用新型一种半导体平面用的研磨装置，该研磨装置设计科学合理，能够自动快速地对半导体进行夹持固定，无需人为操作，夹持稳定可靠，一定程度增加了半导体研磨的效率，在研磨结构处增设缓冲结构，能够在反复使用过程中对研磨结构进行缓冲保护，增加研磨装置的使用寿命，自动化程度高，可自动对半导体进行机械研磨，更加精准可靠。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体平面用的研磨装置。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。半导体在加工过程中为了保障其切面平整光滑，通常需要对其进行平面研磨，此过程中就需要用到研磨装置。

现有的研磨装置通常结构繁琐复杂，不能够自动快速地对半导体进行夹持固定，任需要人为操作，费时费力，一定程度地降低了半导体研磨的效率，且研磨结构不具备缓冲防护能力，研磨盘容易发生损坏，使用寿命低，研磨质量相对较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体平面用的研磨装置，以解决上述背景技术中提出的现有的研磨装置通常结构繁琐复杂，不能够自动快速地对半导体进行夹持固定，任需要人为操作，费时费力，一定程度地降低了半导体研磨的效率，且研磨结构不具备缓冲防护能力，研磨盘容易发生损坏，使用寿命低，研磨质量相对较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体平面用的研磨装置，包括研磨机台，所述研磨机台顶部的中心转动连接有旋转台，所述旋转台顶部的一侧固定设置有夹紧基座，所述夹紧基座的顶部滑动连接有夹紧传动爪，所述夹紧基座内壁的一侧固定安装有夹紧电缸，所述旋转台顶部的另一侧固定设置有固定基座，所述旋转台顶部的两端均固定设置有传动基座，两个所述传动基座的顶部均滑动连接有夹紧滑块，所述旋转台顶部的中心固定设置有放置台，所述放置台与旋转台连接处的外侧开设有若干个均匀分布的漏液孔，所述研磨机台顶部的一侧固定设置有支撑架，所述支撑架的内侧滑动连接有升降基座，所述升降基座的一端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端穿过升降基座固定连接有传动丝杆，所述传动丝杆的中部螺纹连接有传动滑块，所述传动滑块的正面滑动连接有研磨箱，所述研磨箱的背面开设有缓冲滑槽，所述缓冲滑槽内壁的顶部固定设置有缓冲弹簧，所述研磨箱的内部固定安装有研磨电机，所述研磨电机的输出端穿过研磨箱固定连接有研磨盘，所述研磨箱的正面固定设置有乳液滴头，所述支撑架内壁顶部的两侧均固定安装有电动升降杆，所述支撑架的一侧固定安装有研磨乳液喷滴设备，所述研磨乳液喷滴设备的一端固定连通有连通软管，所述研磨机台顶部的一端固定安装有操作屏，所述操作屏的一侧固定安装有启动开关，所述研磨机台内壁顶部的中心固定设置有防护箱，所述防护箱的内部固定安装有减速电机，所述研磨机台内壁的底部固定设置有废液池，所述研磨机台内壁的一侧固定安装有控制器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹紧电缸的一端与夹紧传动爪的一侧固定连接，所述夹紧传动爪的两端分别与两个夹紧滑块的顶部滑动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定基座的一端和两个夹紧滑块的一端均固定设置有夹紧弧板，且三个所述夹紧弧板对应设置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述缓冲弹簧的底部与传动滑块顶部的一侧固定连接，两个所述电动升降杆的底部分别与升降基座顶部的两侧固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连通软管的一端与乳液滴头的顶部固定连通。