[实用新型]一种抛光液配比监测装置有效

专利信息
申请号: 202120679972.3 申请日: 2021-04-02
公开(公告)号: CN214538039U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 王志荣;傅文越 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;G01N33/00
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 配比 监测 装置
【权利要求书】:

1.一种抛光液配比监测装置,其特征在于:包括原液桶(8),所述的原液桶(8)一侧端设有纯水桶(2),所述的原液桶(8)一侧端设有混合桶(12),所述的混合桶(12)与纯水桶(2)间、混合桶(12)与原液桶(8)间设有预配比桶(16),所述的预配比桶(16)与纯水桶(2)间、预配比桶(16)与原液桶(8)间均设有配比管(9),所述的配比管(9)上设有流量传感器(11),所述的流量传感器(11)侧端设有与配比管(9)相法兰式管路连通的气动球阀(10),所述的预配比桶(16)侧边设有与预配比桶(16)相连通的PH检测器(17),所述的混合桶(12)与预配比桶(16)间设有抽液管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的纯水桶(2)上设有送水泵(1),所述的送水泵(1)与纯水桶(2)间设有送水管(3);所述的原液桶(8)上设有送液泵(7),所述的送液泵(7)与原液桶(8)间设有送液管(4);所述的混合桶(12)下部设有与混合桶(12)相管路连通的出液泵(13)。

3.根据权利要求2所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的送水泵(1)与送水管(3)间、送液泵(7)与送液管(4)间、出液泵(13)侧边均设有阀门(5)。

4.根据权利要求3所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的阀门(5)与送水泵(1)间、阀门(5)与送液泵(7)间均设有过渡法兰连接管(6)。

5.根据权利要求1所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的抽液管(14)上设有与抽液管(14)相螺纹式套接的抽液泵(15)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,未经杭州中欣晶圆半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120679972.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top