[实用新型]一种抛光液配比监测装置有效
申请号: | 202120679972.3 | 申请日: | 2021-04-02 |
公开(公告)号: | CN214538039U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 王志荣;傅文越 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01N33/00 |
代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 配比 监测 装置 | ||
1.一种抛光液配比监测装置,其特征在于:包括原液桶(8),所述的原液桶(8)一侧端设有纯水桶(2),所述的原液桶(8)一侧端设有混合桶(12),所述的混合桶(12)与纯水桶(2)间、混合桶(12)与原液桶(8)间设有预配比桶(16),所述的预配比桶(16)与纯水桶(2)间、预配比桶(16)与原液桶(8)间均设有配比管(9),所述的配比管(9)上设有流量传感器(11),所述的流量传感器(11)侧端设有与配比管(9)相法兰式管路连通的气动球阀(10),所述的预配比桶(16)侧边设有与预配比桶(16)相连通的PH检测器(17),所述的混合桶(12)与预配比桶(16)间设有抽液管(14)。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的纯水桶(2)上设有送水泵(1),所述的送水泵(1)与纯水桶(2)间设有送水管(3);所述的原液桶(8)上设有送液泵(7),所述的送液泵(7)与原液桶(8)间设有送液管(4);所述的混合桶(12)下部设有与混合桶(12)相管路连通的出液泵(13)。
3.根据权利要求2所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的送水泵(1)与送水管(3)间、送液泵(7)与送液管(4)间、出液泵(13)侧边均设有阀门(5)。
4.根据权利要求3所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的阀门(5)与送水泵(1)间、阀门(5)与送液泵(7)间均设有过渡法兰连接管(6)。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液配比监测装置,其特征在于:所述的抽液管(14)上设有与抽液管(14)相螺纹式套接的抽液泵(15)。
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