[实用新型]晶体生长用高精度数字式感应加热电源

权利要求书

1.一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，包括主回路及控制回路，其特征在于，主回路包括三相整流桥，三相整流桥的输入端与交流电源相连，输出端经由滤波电容C1与充电缓冲电路的输入端相连；充电缓冲电路的输出端经由滤波电感L1与逆变滤波电容组GCA2的输入端相连，逆变滤波电容组GCA2的输出端经由高频吸收电容组与由IGBT构成的全桥逆变电路的输入端相连，全桥逆变电路由控制回路控制，全桥逆变电路的输出端经由谐振输出电路及谐振电容器组C5与线圈相连；

控制回路包括第一控制电源及第二控制电源，第一控制电源的输出端与内部开关电源SPOW的输入端相连，且串联的缓冲接触器K2的线圈和缓冲接触器K3并联在第一控制电源的输出端上；内部开关电源SPOW的输出端与DSP主控制板以及高精度数字式电流、电压、功率采集板相连的供电端相连，高精度数字式电流、电压、功率采集板的数字信号输出端连接DSP主控制板，DSP主控制板还连接显示和按键单元以及IGBT隔离驱动板，IGBT隔离驱动板连接全桥逆变电路；

串联的控制缓冲接触器K3的继电器及开关K3.2并联在第二控制电源的输出端上，开关K3.2与DSP主控制板相连。

2.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，所述三相整流桥的输入端与所述交流电源之间连接有断路器K1、熔丝F1和熔丝F2。

3.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，所述充电缓冲电路包括并联的缓冲接触器K2和缓冲电阻RB1。

4.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，所述高频吸收电容组包括并联的高频吸收电容C2及高频吸收电容C3。

5.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，所述谐振输出电路包括阻抗匹配变压器T1，变压器T1的原边连接有隔直电容C4，所述谐振电容组C5连接在变压器T1的副边。

6.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，所述第一控制电源为220VAC控制电源。

7.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，在所述第一控制电源的输出端上并联至少一个冷却风机。

8.如权利要求1所述的一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，其特征在于，在所述第二控制电源的输出端上还并联有电源指示灯LA1以及串联的报警状态指示灯LA2、开关K2.2，开关K2.2连接至所述DSP主控制板。