[实用新型]晶体生长用高精度数字式感应加热电源

说明书

本实用新型涉及一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，包括主回路及控制回路，其特在于，内部开关电源SPOW的输出端与DSP主控制板以及高精度数字式电流、电压、功率采集板相连的供电端相连，高精度数字式电流、电压、功率采集板的数字信号输出端连接DSP主控制板，DSP主控制板还连接显示和按键单元以及IGBT隔离驱动板，IGBT隔离驱动板连接全桥逆变电路。本实用新型提供了一种专为晶体生长设计的高精度型数字是感应加热电源，除了采用DSP控制器和CPLD进行全数字式控制以外，电源内设计有高精度电流、电压、功率采集板，具有高精度、高稳定性控制输出功率和输出电流的能力，满足晶体生长对温场稳定性的要求。

技术领域

本实用新型涉及一种高精度感应加热电源，可用于各种晶体生长。

背景技术

感应加热是目前人类所知的最快的加热方式。传统的加热方式是热传导，即由一个热的物体将自身的热能量传递给另一个物体。而感应加热则是通过交变电流在电感线圈中产生交变磁场，放在交变磁场中的导体上产生电流漩涡，也就是涡流，使导体内的电子空穴运动从而产生热量。

传统的用于晶体生长的感应加热电源的缺点是：精度低、无闭环控制程序、需外加闭环控制仪器(例如欧陆表)，且输出功率和电流容易受电网波动的影响。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：传统的用于晶体生长的感应加热电源的缺点是：精度低、无闭环控制程序、需外加闭环控制仪器，且输出功率和电流容易受电网波动的影响。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，包括主回路及控制回路，其特在于，主回路包括三相整流桥，三相整流桥的输入端与交流电源相连，输出端经由滤波电容C1与充电缓冲电路的输入端相连；充电缓冲电路的输出端经由滤波电感L1与逆变滤波电容组GCA2的输入端相连，逆变滤波电容组GCA2的输出端经由高频吸收电容组与由IGBT构成的全桥逆变电路的输入端相连，全桥逆变电路由控制回路控制，全桥逆变电路的输出端经由谐振输出电路及谐振电容器组C5与线圈相连；

控制回路包括第一控制电源及第二控制电源，第一控制电源的输出端与内部开关电源SPOW的输入端相连，且串联的缓冲接触器K2的线圈和缓冲接触器K3并联在第一控制电源的输出端上；内部开关电源SPOW的输出端与DSP主控制板以及高精度数字式电流、电压、功率采集板相连的供电端相连，高精度数字式电流、电压、功率采集板的数字信号输出端连接DSP主控制板，DSP主控制板还连接显示和按键单元以及IGBT隔离驱动板，IGBT隔离驱动板连接全桥逆变电路；

串联的控制缓冲接触器K3的继电器及开关K3.2并联在第二控制电源的输出端上，开关K3.2与DSP主控制板相连。

优选地，所述三相整流桥的输入端与所述交流电源之间连接有断路器K1、熔丝F1和熔丝F2。

优选地，所述充电缓冲电路包括并联的缓冲接触器K2和缓冲电阻RB1。

优选地，所述高频吸收电容组包括并联的高频吸收电容C2及高频吸收电容C3。

优选地，所述谐振输出电路包括阻抗匹配变压器T1，变压器T1的原边连接有隔直电容C4，所述谐振电容组C5连接在变压器T1的副边。

优选地，所述第一控制电源为220VAC控制电源；所述第二控制电源为第一控制电源。

优选地，在所述第一控制电源的输出端上并联至少一个冷却风机。

优选地，在所述第二控制电源的输出端上还并联有电源指示灯LA1以及串联的报警状态指示灯LA2、开关K2.2，开关K2.2连接至所述DSP主控制板。