[实用新型]一种检测光源及缺陷检测系统有效

专利信息
申请号: 202120693990.7 申请日: 2021-04-06
公开(公告)号: CN214894905U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 邹波 申请(专利权)人: 东莞市沃德普自动化科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 牛亭亭
地址: 523000 广东省东莞市南城区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 光源 缺陷 系统
【权利要求书】:

1.一种检测光源,包括镜筒、灯珠组件和光阑,其特征在于,所述灯珠组件包括设于所述镜筒前端的基板,所述基板上均匀布置有至少两个灯珠,所述至少两个灯珠均等分为至少两个照明组,所述至少两个照明组关于所述检测光源的光轴对称;所述光阑设于所述镜筒的末端;

所述镜筒内还设有用于调整光线发散角的光束调节结构,所述光束调节结构安装于所述灯珠组件和所述光阑之间。

2.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述光束调节结构包括第一球面镜和第二球面镜;

所述第一球面镜设于所述镜筒内,将所述镜筒分为第一光学腔和第二光学腔,所述灯珠组件设于所述第一光学腔的前端,所述光阑设于所述第二光学腔的末端;

所述第二球面镜设于所述第二光学腔内,且所述第二球面镜位于所述光阑的内侧。

3.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述光束调节结构包括设于所述光阑内侧的自由曲面镜。

4.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的前端设有散热底座,所述散热底座的前端设有散热片,所述散热底座的末端安装有所述基板。

5.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的内壁设有消光螺纹。

6.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的内壁涂布有消光漆或铺设有消光绒布。

7.一种缺陷检测系统,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的检测光源,还包括:

用于放置待测元件的检测平台;所述检测光源包括至少两个照明组,所述照明组依次点亮时产生照明光束,所述照明光束倾斜照射于所述待测元件的表面;

用于在所述照明光束照射所述待测元件时采集图像的成像装置;

与所述成像装置连接的处理器,用于获取并合成所述成像装置采集的图像,检测所述待测元件的表面缺陷。

8.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述检测平台上设有第一安装柱和第二安装柱,所述检测光源固定于所述第一安装柱,所述成像装置固定于所述第二安装柱。

9.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述成像装置包括镜头,所述照明光束与所述镜头的光轴之间的夹角为20~45°。

10.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述检测平台上设有:

用于固定所述待测元件的元件夹持装置;

用于定位所述待测元件的元件定位传感器,所述元件定位传感器对准于元件夹持装置的固定位置设置。

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