[实用新型]一种检测光源及缺陷检测系统有效
申请号: | 202120693990.7 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN214894905U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 邹波 | 申请(专利权)人: | 东莞市沃德普自动化科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 牛亭亭 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 光源 缺陷 系统 | ||
1.一种检测光源,包括镜筒、灯珠组件和光阑,其特征在于,所述灯珠组件包括设于所述镜筒前端的基板,所述基板上均匀布置有至少两个灯珠,所述至少两个灯珠均等分为至少两个照明组,所述至少两个照明组关于所述检测光源的光轴对称;所述光阑设于所述镜筒的末端;
所述镜筒内还设有用于调整光线发散角的光束调节结构,所述光束调节结构安装于所述灯珠组件和所述光阑之间。
2.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述光束调节结构包括第一球面镜和第二球面镜;
所述第一球面镜设于所述镜筒内,将所述镜筒分为第一光学腔和第二光学腔,所述灯珠组件设于所述第一光学腔的前端,所述光阑设于所述第二光学腔的末端;
所述第二球面镜设于所述第二光学腔内,且所述第二球面镜位于所述光阑的内侧。
3.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述光束调节结构包括设于所述光阑内侧的自由曲面镜。
4.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的前端设有散热底座,所述散热底座的前端设有散热片,所述散热底座的末端安装有所述基板。
5.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的内壁设有消光螺纹。
6.根据权利要求1所述的检测光源,其特征在于,所述镜筒的内壁涂布有消光漆或铺设有消光绒布。
7.一种缺陷检测系统,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的检测光源,还包括:
用于放置待测元件的检测平台;所述检测光源包括至少两个照明组,所述照明组依次点亮时产生照明光束,所述照明光束倾斜照射于所述待测元件的表面;
用于在所述照明光束照射所述待测元件时采集图像的成像装置;
与所述成像装置连接的处理器,用于获取并合成所述成像装置采集的图像,检测所述待测元件的表面缺陷。
8.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述检测平台上设有第一安装柱和第二安装柱,所述检测光源固定于所述第一安装柱,所述成像装置固定于所述第二安装柱。
9.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述成像装置包括镜头,所述照明光束与所述镜头的光轴之间的夹角为20~45°。
10.根据权利要求7所述的缺陷检测系统,其特征在于,所述检测平台上设有:
用于固定所述待测元件的元件夹持装置;
用于定位所述待测元件的元件定位传感器,所述元件定位传感器对准于元件夹持装置的固定位置设置。
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