[实用新型]一种真空发生装置

权利要求书

1.一种真空发生装置，其特征在于，包括螺杆泵组件、罗茨泵组件、油扩散泵组件、第一抽气管路和第二抽气管路；

所述螺杆泵组件包括第一螺杆泵和第二螺杆泵，所述第一螺杆泵和所述第二螺杆泵平行设置，所述第一螺杆泵连通所述第一抽气管路，所述第二螺杆泵连通所述第二抽气管路；

所述罗茨泵组件包括第一组罗茨泵和第二组罗茨泵，所述第一组罗茨泵设置在所述第一螺杆泵的上方，所述第一组罗茨泵连通所述第一抽气管路，所述第二组罗茨泵设置在所述第二螺杆泵的上方，所述第二组罗茨泵连通所述第二抽气管路；

所述油扩散泵组件包括多个油扩散泵，所述多个油扩散泵的排气口依次与所述第一抽气管路连接。

2.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，所述第一组罗茨泵包括第一罗茨泵和第二罗茨泵，所述第一罗茨泵和所述第二罗茨泵依次连通所述第一抽气管路。

3.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，所述第二组罗茨泵包括第三罗茨泵和第四罗茨泵，所述第三罗茨泵和所述第四罗茨泵依次连通所述第二抽气管路。

4.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，所述罗茨泵组件还包括第三组罗茨泵，所述第三组罗茨泵设置在所述第一组罗茨泵和所述第二组罗茨泵之间。

5.根据权利要求4所述的真空发生装置，其特征在于，所述第三组罗茨泵包括第五罗茨泵和第六罗茨泵，所述第五罗茨泵和所述第六罗茨泵依次连通所述第二抽气管路。

6.根据权利要求5所述的真空发生装置，其特征在于，所述第五罗茨泵和所述第六罗茨泵平行设置。

7.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，所述油扩散泵组件包括第一油扩散泵，所述第一油扩散泵的排气口与所述第一抽气管路连接。

8.根据权利要求7所述的真空发生装置，其特征在于，所述油扩散泵组件还包括第二油扩散泵，所述第二油扩散泵的排气口与所述第一抽气管路连接，所述第二油扩散泵与所述第一油扩散泵并排设置。

9.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，第一抽气管路设置有第一排气口，第二抽气管路设置有第二排气口。

10.根据权利要求1所述的真空发生装置，其特征在于，所述装置还包括机架，所述螺杆泵组件、所述罗茨泵组件、所述油扩散泵组件安装在所述机架上。