[实用新型]一种真空发生装置

说明书

本申请实施例提供一种真空发生装置，涉及真空镀膜技术领域。真空发生装置，包括螺杆泵组件、罗茨泵组件、油扩散泵组件、第一抽气管路和第二抽气管路；螺杆泵组件包括第一螺杆泵和第二螺杆泵，第一螺杆泵和第二螺杆泵平行设置，第一螺杆泵连通第一抽气管路，第二螺杆泵连通第二抽气管路；罗茨泵组件包括第一组罗茨泵和第二组罗茨泵，第一组罗茨泵设置在第一螺杆泵的上方，第一组罗茨泵连通第一抽气管路，第二组罗茨泵设置在第二螺杆泵的上方，第二组罗茨泵连通第二抽气管路；油扩散泵组件包括多个油扩散泵，多个油扩散泵的排气口依次与第一抽气管路连接。该真空发生装置结构紧凑，具有抽气效率高、降低占地面积和维护方便快捷的技术效果。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种真空发生装置。

背景技术

目前，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法；例如，真空镀铝、真空镀铬等。在真空镀膜设备上，整个生产工艺流程需要在真空环境下进行，因此，真空发生系统就成为了镀膜设备最重要的组成部分之一，其作用就在于制造一个具有一定真空度的真空环境。

现有技术中，对于目前生产的各类真空镀膜设备，比较常见的真空发生系统的泵组整体布局不够紧凑，占用空间大，在客户现场安装对接时不方便；此外，滑阀泵抽气效率不高，真空发生系统自身在工作时会产生很大的振动，平时的维护较为困难。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种真空发生装置，该真空发生装置结构紧凑，具有抽气效率高、降低占地面积和维护方便快捷的技术效果。

本申请实施例提供了一种真空发生装置，包括螺杆泵组件、罗茨泵组件、油扩散泵组件、第一抽气管路和第二抽气管路；

所述螺杆泵组件包括第一螺杆泵和第二螺杆泵，所述第一螺杆泵和所述第二螺杆泵平行设置，所述第一螺杆泵连通所述第一抽气管路，所述第二螺杆泵连通所述第二抽气管路；

所述罗茨泵组件包括第一组罗茨泵和第二组罗茨泵，所述第一组罗茨泵设置在所述第一螺杆泵的上方，所述第一组罗茨泵连通所述第一抽气管路，所述第二组罗茨泵设置在所述第二螺杆泵的上方，所述第二组罗茨泵连通所述第二抽气管路；

所述油扩散泵组件包括多个油扩散泵，所述多个油扩散泵的排气口依次与所述第一抽气管路连接。

在上述实现过程中，该真空发生装置通过合理分配螺杆泵组件、罗茨泵组件和油扩散泵组件的连接方式和安装空间，经过优化布局，螺杆泵组件和罗茨泵组件即采用对称的空间布局结构，结构紧凑，可降低占地面积；而且，螺杆泵为干泵，没有真空泵油，不需要更换泵油和安装油雾过滤器，维护方便快捷；通过设置第一抽气管路和第二抽气管路，从而采用两路抽气管路同时抽气，可最大限度的发挥泵组的能力，使得抽气效率更高；从而，该真空发生装置结构紧凑，具有抽气效率高、降低占地面积和维护方便快捷的技术效果。

进一步地，所述第一组罗茨泵包括第一罗茨泵和第二罗茨泵，所述第一罗茨泵和所述第二罗茨泵依次连通所述第一抽气管路。

在上述实现过程中，第一罗茨泵和第二罗茨泵串联，依次连通第一抽气管路，从而提高抽气效率。

进一步地，所述第二组罗茨泵包括第三罗茨泵和第四罗茨泵，所述第三罗茨泵和所述第四罗茨泵依次连通所述第二抽气管路。

在上述实现过程中，第三罗茨泵和第四罗茨泵串联，依次连通第二抽气管路，从而提高抽气效率。

进一步地，所述罗茨泵组件还包括第三组罗茨泵，所述第三组罗茨泵设置在所述第一组罗茨泵和所述第二组罗茨泵之间。

在上述实现过程中，通过优化结构，第三组罗茨泵设置在第一组罗茨泵和第二组罗茨泵之间，形成对称布置，使装置整体结构紧凑，从而节省占地空间。