[实用新型]一种8吋晶圆盒门体解锁机构

权利要求书

1.一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，包括：

支承装配组件；

配接定位组件，该配接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒的配接结构适配；

配接解锁组件，该配接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒的锁定结构适配；

切换传动组件，该切换传动组件安装于支承装配组件上，并与配接解锁组件衔接；

动力驱转组件，该动力驱转组件安装于支承装配组件上，并与切换传动组件衔接。

2.根据权利要求1所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，支承装配组件包括：

支承基板，该支承基板开设有装配通孔，动力驱转组件及切换传动组件安装于支承基板的背面，配接定位组件安装于支承基板的正面，配接解锁组件安装于装配通孔中，其传动端在支承基板背面与切换传动组件衔接，其解锁端伸向支承基板的正面。

3.根据权利要求2所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，配接定位组件包括：

定位销柱，该定位销柱设有一对，各定位销柱分别固定于支承基板上，并从支承基板的正面向外凸出，其形状与晶圆盒底座中的定位销孔适配。

4.根据权利要求2所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，配接解锁组件包括：

解锁转台，该解锁转台安装于装配通孔内；

解锁销柱，该解锁销柱安装于解锁转台上，并从支承基板的正面向外凸出，其形状与晶圆盒底座中的锁具适配。

5.根据权利要求4所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，切换传动组件包括：

传动丝杆，该传动丝杆通过装配基座安装于支承基板上；

传动滑块，该传动滑块安装于传动丝杆上；

传动连杆，该传动连杆一端与传动滑块相连，其另一端连接于解锁转台边缘。

6.根据权利要求1所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于，动力驱转组件包括：

驱动电机，该驱动电机安装于支承基板上，其动力输出轴与传动丝杆连接。

7.根据权利要求4所述的一种8吋晶圆盒门体解锁机构，其特征在于：

解锁销柱设有一对，各解锁销柱分别安装于解锁转台边缘，并位于同一直径线上。