[实用新型]一种8吋晶圆盒自动解锁装置

权利要求书

1.一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，包括：

支撑装配组件；

竖向升降组件，该竖向升降组件安装于支撑装配组件上；

盖体支承组件，该盖体支承组件安装于竖向升降组件上，并与晶圆盒的盖体配合；

横向移动组件，该横向移动组件安装于支撑装配组件上；

底座支承组件，该底座支承组件安装于横向移动组件上，并与晶圆盒的底座配合，底座支承组件中还设有解锁机构。

2.根据权利要求1所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，支撑装配组件包括：

支撑框架，该支撑框架中具有安装空间，竖向升降组件安装于支撑框架上；

装配台面，该装配台面安装于支撑框架顶部，横向移动组件安装于装配台面上；

转接背板，该转接背板安装于支撑框架的背部，其上段向支撑框架上方伸出，转接背板中开设有取片通口，该取片通口的位置与横向移动组件位置对应。

3.根据权利要求2所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，竖向升降组件包括：

升降电机，该升降电机安装于支撑框架上，并位于装配台面下方；

传动丝杆，该传动丝杆位于装配台面下方，并沿竖向放置，升降电机的动力输出轴与传动丝杆连接；

导向滑轨，该导向滑轨设有一对，各导向滑轨分别安装于支撑框架上，并与传动丝杆相互平行；

转接架体，该转接架体位于装配台面下方，其两端分别通过导向滑块安装于导向滑轨上，其中部通过传动螺母与传动丝杆配合；

竖向立柱，该竖向立柱设有一组，各竖向立柱分别安装于转接架体上，并贯穿装配台面向上方伸出，盖体支承组件安装于竖向立柱上。

4.根据权利要求3所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，盖体支承组件包括：

支承环圈，该支承环圈安装于竖向立柱顶部。

5.根据权利要求4所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，盖体支承组件还包括：

限位侧条，该限位侧条设有一对，各限位侧条安装于支承环圈上，并分列于支承环圈两端。

6.根据权利要求2所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，横向移动组件包括：

横移电机，该横移电机安装于装配台面上，其动力输出轴与底座支承组件衔接。

7.根据权利要求6所述的一种8吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，底座支承组件包括：

支承平台，该支承平台通过横向导向结构安装于装配台面上，并通过丝杆传动结构与横移电机的动力输出轴连接。