[实用新型]一种超高真空低温三维物镜致动装置

权利要求书

1.一种超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于，包括：

物镜部件（1）；

第一纵向调节机构（3），所述第一纵向调节机构（3）设置在所述物镜部件（1）的底部，且用于带动所述物镜部件（1）上移或下移；

第二纵向调节机构（4），所述第二纵向调节机构（4）的内腔中部设置有第一纵向调节机构（3），所述第二纵向调节机构（4）用于带动所述第一纵向调节机构（3）上移或下移；

多个横移机构，所述多个横移机构设置在所述第二纵向调节机构（4）的底部，所述多个横移机构用于带动所述第二纵向调节机构（4）水平移动；以及

底座（5），所述底座（5）设置在所述多个横移机构的底部，所述多个横移机构以所述底座（5）的中心呈环形矩阵分布。

2.根据权利要求1所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述横移机构包括第一传动机构和第一限位机构，所述传动机构用于带动所述第二纵向调节机构（4）水平移动，所述第一限位机构用于防止所述第二纵向调节机构（4）上移或下移。

3.根据权利要求2所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述第一传动机构包括第一蓝宝石片（512）和第一压电陶瓷堆垛（513），所述第二纵向调节机构（4）的底部设置有多个传动端角（41），所述传动端角（41）与所述第一传动机构一一对应，所述第一蓝宝石片（512）设置在所述底座（5）的上表面边缘部位，所述第一压电陶瓷堆垛（513）设置在所述第一蓝宝石片（512）的上表面中心位置，所述第一压电陶瓷堆垛（513）与所述传动端角（41）的下表面粘接。

4.根据权利要求2所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述第一限位机构包括两个第一安装柱（511）、第一压片（514）、第一滚珠（515）和第二蓝宝石片（516），所述第一压片（514）的中部设置有限位孔，所述第二纵向调节机构（4）的底部设置有多个传动端角（41），所述传动端角（41）与所述第一限位机构一一对应，所述第二蓝宝石片（516）设置在所述传动端角（41）的上表面，所述第一滚珠（515）的底部设置在所述第二蓝宝石片（516）的上表面，顶部滑动镶嵌在所述限位孔中，所述第一压片（514）的两端通过螺栓分别固定在所述两个第一安装柱（511）的顶部，所述两个第一安装柱（511）设置在所述底座（5）的上表面边缘部位，且分别位于第一压电陶瓷堆垛（513）的两侧。

5.根据权利要求1所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述第一纵向调节机构（3）包括纵向负载棱柱（31）和多个第一纵向压电陶瓷棱柱（32），所述纵向负载棱柱（31）的侧壁上设置有多个第一安装底座（311），且所述第一安装底座（311）与所述第一纵向压电陶瓷棱柱（32）一一对应，所述第一纵向压电陶瓷棱柱（32）的底部设置在所述第一安装底座（311）内，所述第一纵向压电陶瓷棱柱（32）的顶部与所述物镜部件（1）的底部连接。

6.根据权利要求5所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述纵向负载棱柱（31）为六棱柱，且中部设置有透光通孔，所述第一纵向压电陶瓷棱柱（32）的数量为三个，且以所述纵向负载棱柱（31）的中心呈环形矩阵分布在所述纵向负载棱柱（31）的棱面上。

7.根据权利要求1所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述第二纵向调节机构（4）包括多个驱动机构（42）和固定架（43），所述多个驱动机构以所述固定架（43）的中心呈环形矩阵设置在所述固定架（43）上，所述驱动机构用于带动所述物镜部件（1）上移或下移。

8.根据权利要求7所述的超高真空低温三维物镜致动装置，其特征在于：所述驱动机构包括安装支架（421）和多个第二压电陶瓷堆垛（422），所述第一纵向调节机构（3）包括纵向负载棱柱（31），所述纵向负载棱柱（31）的侧壁上设置有多个第三蓝宝石片（312），且所述第三蓝宝石片（312）与所述第二压电陶瓷堆垛（422）一一对应，所述第二压电陶瓷堆垛（422）的一面通过安装支架（421）设置在所述固定架（43）上，另一面与所述第三蓝宝石片（312）贴合。