[实用新型]一种超高真空低温三维物镜致动装置

说明书

本实用新型涉及精密致动技术领域，具体而言，涉及一种超高真空低温三维物镜致动装置，包括：物镜部件、第一纵向调节机构、第二纵向调节机构、多个横移机构和底座，所述第一纵向调节机构设置在所述物镜部件的底部，且用于带动所述物镜部件上移或下移；所述第二纵向调节机构的内腔中部设置有第一纵向调节机构；所述多个横移机构设置在所述第二纵向调节机构的底部；以及所述底座设置在所述多个横移机构的底部，所述多个横移机构以所述底座的中心呈环形矩阵分布，本实用新型通过在所述底座上设置多个用于带动所述第二纵向调节机构水平移动的横移机构，进而使所述物镜部件能够精准且大范围地实现水平移动，极大地提高了使用便捷性和工作效率。

技术领域

本实用新型涉及精密致动技术领域，具体而言，涉及一种超高真空低温三维物镜致动装置。

背景技术

精密定位是指将负载高精度地定位至目标的技术。该技术广泛应用于表面科学表征，生物成像，微加工技术等领域，目前商用化的超高真空低温兼容压电制动定位器无法实现大范围的水平移动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超高真空低温三维物镜致动装置，以改善上述问题。为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

本申请提供了一种超高真空低温三维物镜致动装置，包括：物镜部件、第一纵向调节机构、第二纵向调节机构、多个横移机构和底座，所述第一纵向调节机构设置在所述物镜部件的底部，且用于带动所述物镜部件上移或下移；所述第二纵向调节机构的内腔中部设置有第一纵向调节机构，所述第二纵向调节机构用于带动所述第一纵向调节机构上移或下移；所述多个横移机构设置在所述第二纵向调节机构的底部，所述多个横移机构用于带动所述第二纵向调节机构水平移动；以及所述底座设置在所述多个横移机构的底部，所述多个横移机构以所述底座的中心呈环形矩阵分布。

优选地，所述横移机构包括第一传动机构和第一限位机构，所述传动机构用于带动所述第二纵向调节机构水平移动，所述第一限位机构用于防止所述第二纵向调节机构上移或下移。

优选地，所述第一传动机构包括第一蓝宝石片和第一压电陶瓷堆垛，所述第二纵向调节机构的底部设置有多个传动端角，所述传动端角与所述第一传动机构一一对应，所述第一蓝宝石片设置在所述底座的上表面边缘部位，所述第一压电陶瓷堆垛设置在所述第一蓝宝石片的上表面中心位置，所述第一压电陶瓷堆垛与所述传动端角的下表面粘接。

优选地，所述第一限位机构包括两个第一安装柱、第一压片、第一滚珠和第二蓝宝石片，所述第一压片的中部设置有限位孔，所述第二纵向调节机构的底部设置有多个传动端角，所述传动端角与所述第一限位机构一一对应，所述第二蓝宝石片设置在所述传动端角的上表面，所述第一滚珠的底部设置在所述第二蓝宝石片的上表面，顶部滑动镶嵌在所述限位孔中，所述第一压片的两端通过螺栓分别固定在所述两个第一安装柱的顶部，所述两个第一安装柱设置在所述底座的上表面边缘部位，且分别位于第一压电陶瓷堆垛的两侧。

优选地，所述第一纵向调节机构包括纵向负载棱柱和多个第一纵向压电陶瓷棱柱，所述纵向负载棱柱的侧壁上设置有多个第一安装底座，且所述第一安装底座与所述第一纵向压电陶瓷棱柱一一对应，所述第一纵向压电陶瓷棱柱的底部设置在所述第一安装底座内，所述第一纵向压电陶瓷棱柱的顶部与所述物镜部件的底部连接。

优选地，所述纵向负载棱柱为六棱柱，且中部设置有透光通孔，所述第一纵向压电陶瓷棱柱的数量为三个，且以所述纵向负载棱柱的中心呈环形矩阵分布在所述纵向负载棱柱的棱面上。

优选地，所述第二纵向调节机构包括多个驱动机构和固定架，所述多个驱动机构以所述固定架的中心呈环形矩阵设置在所述固定架上，所述驱动机构用于带动所述所述物镜部件上移或下移。