[实用新型]一种晶圆自动贴DAF膜装置

权利要求书

1.一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：包括DAF膜分离装置(1)和DAF膜粘贴装置(2)；

所述DAF膜分离装置(1)包括放料卷轴(11)、收料卷轴(12)、主滚筒(13)和分离刀(14)，所述放料卷轴(11)位于收料卷轴(12)和主滚筒(13)之间，所述放料卷轴(11)分别与收料卷轴(12)、主滚筒(13)传动连接，且所述放料卷轴(11)与收料卷轴(12)同向转动，所述放料卷轴(11)与主滚筒(13)反向转动，所述放料卷轴(11)和收料卷轴(12)中的一个与动力装置(15)连接，所述分离刀(14)位于主滚筒(13)下方，所述主滚筒(13)的两端均与一伸缩气缸(16)连接，使主滚筒(13)可上下移动；

所述DAF膜粘贴装置(2)设于DAF膜分离装置(1)的下方，且所述DAF膜粘贴装置(2)可以从主滚筒(13)下方伸出和收回，所述DAF膜粘贴装置(2)包括吸盘(21)和承载片(24)，所述吸盘(21)和承载片(24)的外形和尺寸分别与晶圆和支撑圈的对应，所述DAF膜粘贴装置(2)上靠近内部的一侧设有定位传感器(22)。

2.如权利要求1所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述DAF膜粘贴装置还包括工作台(23)、发热体(25)、隔热板(26)和传动机构(27)，所述承载片(24)和吸盘(21)固定设于工作台(23)上表面，且所述吸盘(21)设于承载片(24)的内圈中，所述发热体(25)设于吸盘(21)的正下方，所述发热体(25)固定设于隔热板(26)上，所述隔热板(26)与工作台(23)固定连接，所述传动机构(27)与工作台(23)连接，所述工作台(23)的底部两边均设有导轨(28)，所述导轨(28)从滑块(29)中穿过，所述滑块(29)固定在机架上。

3.如权利要求2所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述传动机构(27)包括电机(271)、同步带(272)和连接块(273)，所述同步带(272)与电机(271)连接，所述连接块(273)一端与同步带(272)连接，所述连接块(273)另一端与工作台(23)连接。

4.如权利要求2所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述传动机构(27)包括电机(271)、螺纹丝杆(274)和连接块(273)，所述电机(271)与螺纹丝杆(274)连接，所述螺纹丝杆(274)与连接块(273)螺纹连接，所述连接块(273)与工作台(23)连接。

5.如权利要求2所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述分离刀(14)的下端、所述工作台(23)与吸盘(21)之间均设有吹气嘴(3)。

6.如权利要求1所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述放料卷轴(11)与主滚筒(13)之间设有第一转向轴(17)和第二转向轴(20)，所述第一转向轴(17)与压紧传动轴(18)相切；所述收料卷轴(12)的右下方设有第三转向轴(19)，所述第三转向轴(19)与压紧传动轴(18)相切，所述压紧传动轴(18)与压紧气缸(181)连接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述收料卷轴(12)的下方设有膜料张紧装置(4)，所述膜料张紧装置(4)包括张紧轴(41)、连杆(42)、旋转轴(43)和驱动机构(44)，所述张紧轴(41)的高度高于第三转向轴(19)，所述张紧轴(41)和旋转轴(43)通过连杆(42)连接，所述旋转轴(43)与驱动机构(44)连接。

8.如权利要求1所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述主滚筒(13)内部设有发热装置(5)和温度传感器(6)。

9.如权利要求1所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述主滚筒(13)的右上方设有离子风管(7)，且所述离子风管(7)设于分离刀(14)的上方。

10.如权利要求1所述的一种晶圆自动贴DAF膜装置，其特征在于：所述分离刀(14)的两端固定在固定板(8)上，所述固定板(8)上设有开槽(81)，所述分离刀(14)通过紧固件穿过开槽(81)后固定在固定板(8)上。