[实用新型]一种晶圆自动贴DAF膜装置

说明书

一种晶圆自动贴DAF膜装置，包括DAF膜分离装置和DAF膜粘贴装置；所述DAF膜分离装置包括放料卷轴、收料卷轴、主滚筒和分离刀，所述放料卷轴分别与收料卷轴、主滚筒传动连接，且所述放料卷轴与收料卷轴同向转动，所述放料卷轴与主滚筒反向转动，所述放料卷轴和收料卷轴中的一个与动力装置连接；所述DAF膜粘贴装置设于DAF膜分离装置的下方，且所述DAF膜粘贴装置可以从主滚筒下方伸出和收回，所述DAF膜粘贴装置包括吸盘，所述吸盘的外形和尺寸与晶圆的对应。此晶圆自动贴DAF膜装置不仅可以自动地把离型膜和DAF膜分离，而且能够将DAF膜精确地粘贴在晶圆和支撑圈上，降低了工人的劳动强度，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型属于覆膜技术设备技术领域，尤其涉及一种晶圆自动贴DAF膜装置。

背景技术

DAF膜是晶圆黏结薄膜，目的是在切割晶圆时，晶圆可与DAF膜一起切割与分离，进行剥离时，切割完后成为单独晶粒的的晶圆还呈圆形粘着在薄膜上，不会因切割而造成散乱排列。所以切割晶圆前须在加一个支撑圈来撑起DAF膜的边缘。而DAF膜在粘贴之前需要附着在离型膜上。使用时需要将DAF膜与离型膜分离，把DAF胶膜贴在晶圆和支撑圈上。现有技术中，通常采用人工粘贴的方式在晶圆上粘贴DAF膜，粘贴时，需要先把DAF膜从离型膜上面取下来，然后再把DAF膜对准晶圆，最后把DAF膜粘贴在晶圆上。这种粘贴方式劳动强度大，人工成本高，且效率低下。因此，需要一种晶圆自动贴附DAF膜的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动贴DAF膜装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种晶圆自动贴DAF膜装置，包括 DAF膜分离装置和DAF膜粘贴装置；

所述DAF膜分离装置包括放料卷轴、收料卷轴、主滚筒和分离刀，所述放料卷轴位于收料卷轴和主滚筒之间，所述放料卷轴分别与收料卷轴、主滚筒传动连接，且所述放料卷轴与收料卷轴同向转动，所述放料卷轴与主滚筒反向转动，所述放料卷轴和收料卷轴中的一个与动力装置连接，所述分离刀位于主滚筒下方，所述主滚筒的两端均与一伸缩气缸连接，使主滚筒可上下移动；

所述DAF膜粘贴装置设于DAF膜分离装置的下方，且所述DAF膜粘贴装置可以从主滚筒下方伸出和收回，所述DAF膜粘贴装置包括吸盘和承载片，所述吸盘和承载片的外形和尺寸分别与晶圆和支撑圈的对应，所述DAF膜粘贴装置上靠近内部的一侧设有定位传感器。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述DAF膜粘贴装置还包括工作台、发热体、隔热板和传动机构，所述承载片和吸盘固定设于工作台上表面，且所述吸盘设于承载片的内圈中，所述发热体设于吸盘的正下方，所述发热体固定设于隔热板上，所述隔热板与工作台固定连接，所述传动机构与工作台连接，所述工作台的底部两边均设有导轨，所述导轨从滑块中穿过，所述滑块固定在机架上。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述传动机构包括电机、同步带和连接块，所述同步带与电机连接，所述连接块一端与同步带连接，所述连接块另一端与工作台连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述传动机构包括电机、螺纹丝杆和连接块，所述电机与螺纹丝杆连接，所述螺纹丝杆与连接块螺纹连接，所述连接块与工作台连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述分离刀的下端、所述工作台与吸盘之间均设有吹气嘴。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述放料卷轴与主滚筒之间设有第一转向轴和第二转向轴，所述第一转向轴与压紧传动轴相切；所述收料卷轴的右下方设有第三转向轴，所述第三转向轴与压紧传动轴相切，所述压紧传动轴与压紧气缸连接。