[实用新型]一种晶舟盒用档条有效

申请号：	202120709807.8	申请日：	2021-04-07
公开（公告）号：	CN214848508U	公开（公告）日：	2021-11-23
发明（设计）人：	储瑞清;徐海龙	申请（专利权）人：	无锡市瑞达电子科技有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/673
代理公司：	无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376	代理人：	张悦
地址：	214000 江苏省无锡***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种晶舟盒用档条
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【权利要求书】：

1.一种晶舟盒用档条，包括档条主体(1)和档条支撑体(2)，其特征在于：所述档条主体(1)安装在档条支撑体(2)靠近晶圆的一侧，所述档条主体(1)上开设有卡槽(3)，卡槽(3)与晶圆一一对应，所述档条支撑体(2)上开设有安装孔(4)，所述安装孔(4)内设置有缓冲组件(5)，所述缓冲组件(5)弹性设置在档条主体(1)与档条支撑体(2)之间，所述档条主体(1)上开设有容纳槽(6)，所述容纳槽(6)内嵌入有挡片(7)。

2.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述缓冲组件(5)包括连接杆(501)、弹性件(502)、滑动塞(503)，所述连接杆(501)穿设在安装孔(4)内，连接杆(501)位于安装孔(4)内的第一端安装有滑动塞(503)，第二端与档条主体(1)连接，所述弹性件(502)挤压在滑动塞(503)与安装孔(4)之间。

3.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述缓冲组件(5)沿档条主体(1)的长度方向至少设置有两个。

4.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述卡槽(3)沿档条均匀分布有若干个。

5.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述挡片(7)为聚四氟乙烯材质。

6.根据权利要求2所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述弹性件(502)为弹簧。

7.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述档条主体(1)为聚四氟乙烯材质。

8.根据权利要求1所述的晶舟盒用档条，其特征在于：所述档条支撑体(2)为铝合金材质。

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