[实用新型]一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机

权利要求书

1.一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，包括工作台(1)、顶紧机构(3)、磨砂机构(4)，所述工作台(1)的顶部转动安装有圆盘本体；所述顶紧机构(3)包括机头(31)、安装在所述机头(31)底部的顶轴(32)，所述顶轴(32)的底部设置有抵接在所述圆盘本体顶部的夹紧块(322)；所述磨砂机构(4)包括轮机(41)和粗弧片布和细弧片布交错间隔粘接的抛光布(42)，所述圆盘本体接触所述抛光布(42)；所述工作台(1)的顶部可拆卸连接有底板(5)，所述底板(5)的顶部设置有支座(51)，所述轮机(41)的底部固定连接有支板(6)，所述支板(6)与所述支座(51)通过球铰连接；所述支座(51)的顶部固定有多个高度不超过支座(51)顶部球铰的胶垫(52)。

2.根据权利要求1所述的一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，所述支板(6)与所述底板(5)之间连接有多个弹簧(7)。

3.根据权利要求1所述的一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，所述顶轴(32)轴壁上设置有内凹的螺纹段(321)，所述螺纹段(321)上通过螺纹连接有压环(33)，所述压环(33)的底部设置有抵接在所述圆盘本体顶部的顶杆(34)；所述顶杆(34)有多个且绕所述顶轴(32)呈圆周阵列分布。

4.根据权利要求3所述的一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，所述螺纹段(321)上通过螺纹连接有压接在所述压环(33)顶部的锁紧螺母(35)。

5.根据权利要求1所述的一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，所述工作台(1)的顶部转动连接有转盘(2)，所述圆盘本体放置在所述转盘(2)的顶部；且所述转盘(2)位置高于所述底板(5)。

6.根据权利要求1所述的一种具有自动吸尘效果的水晶圆盘抛光机，其特征在于，所述机头(31)包括液压缸(311)和固定连接在所述液压缸(311)底部输出端的电机(312)，所述顶轴(32)固定连接所述电机(312)的输出端。