[实用新型]一种半导体加工用夹持稳固的切割装置有效

专利信息
申请号: 202120719643.7 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN214542179U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 徐州盛科半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省徐州市新沂*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 工用 夹持 稳固 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,包括切割装置本体(1),所述切割装置本体(1)本体上设有放置盘(2),放置盘(2)上设有半导体圆盘(3),其特征在于:所述放置盘(2)上固定安装有四个L型杆(4),四个L型杆(4)上均活动安装有挤压板(5),四个挤压板(5)上均固定安装有活动杆(6),四个活动杆(6)上均活动安装有固定块(20),四个固定块(20)上固定安装有同一个压力板(7),压力板(7)与半导体圆盘(3)相接触,压力板(7)上固定安装有伸缩杆(9),伸缩杆(9)上活动安装有套筒(8),套筒(8)固定安装在放置盘(2)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述伸缩杆(9)上套接有弹簧(10),弹簧(10)的一端固定安装在放置盘(2)上,弹簧(10)的另一端固定安装在压力板(7)上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述活动杆(6)上开设有滑槽(11),滑槽(11)内滑动安装有转轴(12),转轴(12)固定安装在固定块(20)上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述活动杆(6)上的滑槽(11)内开设有限位槽(13),限位槽(13)内转动安装有限位圈(14),限位圈(14)固定安装在转轴(12)上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述挤压板(5)上固定安装有缓冲垫片(17),缓冲垫片(17)位于挤压板(5)和半导体圆盘(3)之间。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述挤压板(5)上开设有T型槽(15),T型槽(15)内滑动安装有T型块(16),T型块(16)固定安装在缓冲垫片(17)上。

7.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述L型杆(4)上开设有转动孔(18),转动孔(18)内转动安装有转动轴(19),转动轴(19)固定安装在挤压板(5)上。

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