[实用新型]一种半导体加工用夹持稳固的切割装置有效
申请号: | 202120719643.7 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN214542179U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 徐州盛科半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221400 江苏省徐州市新沂*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 工用 夹持 稳固 切割 装置 | ||
1.一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,包括切割装置本体(1),所述切割装置本体(1)本体上设有放置盘(2),放置盘(2)上设有半导体圆盘(3),其特征在于:所述放置盘(2)上固定安装有四个L型杆(4),四个L型杆(4)上均活动安装有挤压板(5),四个挤压板(5)上均固定安装有活动杆(6),四个活动杆(6)上均活动安装有固定块(20),四个固定块(20)上固定安装有同一个压力板(7),压力板(7)与半导体圆盘(3)相接触,压力板(7)上固定安装有伸缩杆(9),伸缩杆(9)上活动安装有套筒(8),套筒(8)固定安装在放置盘(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述伸缩杆(9)上套接有弹簧(10),弹簧(10)的一端固定安装在放置盘(2)上,弹簧(10)的另一端固定安装在压力板(7)上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述活动杆(6)上开设有滑槽(11),滑槽(11)内滑动安装有转轴(12),转轴(12)固定安装在固定块(20)上。
4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述活动杆(6)上的滑槽(11)内开设有限位槽(13),限位槽(13)内转动安装有限位圈(14),限位圈(14)固定安装在转轴(12)上。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述挤压板(5)上固定安装有缓冲垫片(17),缓冲垫片(17)位于挤压板(5)和半导体圆盘(3)之间。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述挤压板(5)上开设有T型槽(15),T型槽(15)内滑动安装有T型块(16),T型块(16)固定安装在缓冲垫片(17)上。
7.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,其特征在于:所述L型杆(4)上开设有转动孔(18),转动孔(18)内转动安装有转动轴(19),转动轴(19)固定安装在挤压板(5)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造