[实用新型]一种半导体加工用夹持稳固的切割装置有效
申请号: | 202120719643.7 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN214542179U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 徐州盛科半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221400 江苏省徐州市新沂*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 工用 夹持 稳固 切割 装置 | ||
本实用新型公开了一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,涉及到半导体切割领域,包括切割装置本体,所述切割装置本体本体上设有放置盘,放置盘上设有半导体圆盘,所述放置盘上固定安装有四个L型杆,四个L型杆上均活动安装有挤压板,四个挤压板上均固定安装有活动杆,四个活动杆上均活动安装有固定块,四个固定块上固定安装有同一个压力板。本实用新型,通过挤压板的设置,在使用切割装置本体时,即使机械臂在上下料移动放置盘的过程中,放置盘产生了晃动,挤压板也会将半导体圆盘牢牢地固定住,从而避免了由于半导体圆盘位置偏移,造成半导体圆盘的切割位置出错,导致一整块半导体圆盘报废,从而保证不会受到经济上的损失。
技术领域
本实用新型涉及半导体切割技术领域,尤其涉及一种半导体加工用夹持稳固的切割装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体成品的尺寸非常的小,一般再加工时会将其制成圆盘,在加工完成后再进行分割。
现有技术中,半导体的切割需要保证极高的精度与稳定,所以一般采用机械化自动切割,会将半导体圆盘放置在放置盘中,经由机械臂移动至合适的加工位置,但是机械切割的对位置的要求高,而半导体圆盘在放置盘中并没有被有效地固定住,在如果放置盘移动的过程中产生了晃动,导致半导体圆盘位置偏移,就会造成半导体圆盘的切割位置出错,从而导致一整块半导体圆盘报废,造成经济上的损失,因此需要一种半导体加工用夹持稳固的切割装置来满足人们的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,以解决上述背景技术中提出的如果放置盘移动的过程中产生了晃动,导致半导体圆盘位置偏移,就会造成半导体圆盘的切割位置出错,从而导致一整块半导体圆盘报废,造成经济上的损失的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,包括切割装置本体,所述切割装置本体本体上设有放置盘,放置盘上设有半导体圆盘,所述放置盘上固定安装有四个L型杆,四个L型杆上均活动安装有挤压板,四个挤压板上均固定安装有活动杆,四个活动杆上均活动安装有固定块,四个固定块上固定安装有同一个压力板,压力板与半导体圆盘相接触,压力板上固定安装有伸缩杆,伸缩杆上活动安装有套筒,套筒固定安装在放置盘上。
优选的,所述伸缩杆上套接有弹簧,弹簧的一端固定安装在放置盘上,弹簧的另一端固定安装在压力板上。
优选的,所述活动杆上开设有滑槽,滑槽内滑动安装有转轴,转轴固定安装在固定块上。
优选的,所述活动杆上的滑槽内开设有限位槽,限位槽内转动安装有限位圈,限位圈固定安装在转轴上。
优选的,所述挤压板上固定安装有缓冲垫片,缓冲垫片位于挤压板和半导体圆盘之间。
优选的,所述挤压板上开设有T型槽,T型槽内滑动安装有T型块,T型块固定安装在缓冲垫片上。
优选的,所述L型杆上开设有转动孔,转动孔内转动安装有转动轴,转动轴固定安装在挤压板上。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型中,通过挤压板的设置,在使用切割装置本体时,即使机械臂在上下料移动放置盘的过程中,放置盘产生了晃动,挤压板也会将半导体圆盘牢牢地固定住,从而避免了由于半导体圆盘位置偏移,造成半导体圆盘的切割位置出错,导致一整块半导体圆盘报废,从而保证不会受到经济上的损失。
本实用新型中,通过缓冲垫片的设置,在挤压板固定半导体圆盘时,缓冲垫片可以挡在两者之间,从避免挤压板对半导体圆盘造成损失,通过T型块,在缓冲垫片出现磨损后没可以通过T型块快速的安装与维护,从而提高了切割装置本体的实用性。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造