[实用新型]一种半导体加工用夹持稳固的切割装置有效

专利信息
申请号: 202120719643.7 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN214542179U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 徐州盛科半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省徐州市新沂*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 工用 夹持 稳固 切割 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,涉及到半导体切割领域,包括切割装置本体,所述切割装置本体本体上设有放置盘,放置盘上设有半导体圆盘,所述放置盘上固定安装有四个L型杆,四个L型杆上均活动安装有挤压板,四个挤压板上均固定安装有活动杆,四个活动杆上均活动安装有固定块,四个固定块上固定安装有同一个压力板。本实用新型,通过挤压板的设置,在使用切割装置本体时,即使机械臂在上下料移动放置盘的过程中,放置盘产生了晃动,挤压板也会将半导体圆盘牢牢地固定住,从而避免了由于半导体圆盘位置偏移,造成半导体圆盘的切割位置出错,导致一整块半导体圆盘报废,从而保证不会受到经济上的损失。

技术领域

本实用新型涉及半导体切割技术领域,尤其涉及一种半导体加工用夹持稳固的切割装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体成品的尺寸非常的小,一般再加工时会将其制成圆盘,在加工完成后再进行分割。

现有技术中,半导体的切割需要保证极高的精度与稳定,所以一般采用机械化自动切割,会将半导体圆盘放置在放置盘中,经由机械臂移动至合适的加工位置,但是机械切割的对位置的要求高,而半导体圆盘在放置盘中并没有被有效地固定住,在如果放置盘移动的过程中产生了晃动,导致半导体圆盘位置偏移,就会造成半导体圆盘的切割位置出错,从而导致一整块半导体圆盘报废,造成经济上的损失,因此需要一种半导体加工用夹持稳固的切割装置来满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,以解决上述背景技术中提出的如果放置盘移动的过程中产生了晃动,导致半导体圆盘位置偏移,就会造成半导体圆盘的切割位置出错,从而导致一整块半导体圆盘报废,造成经济上的损失的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,包括切割装置本体,所述切割装置本体本体上设有放置盘,放置盘上设有半导体圆盘,所述放置盘上固定安装有四个L型杆,四个L型杆上均活动安装有挤压板,四个挤压板上均固定安装有活动杆,四个活动杆上均活动安装有固定块,四个固定块上固定安装有同一个压力板,压力板与半导体圆盘相接触,压力板上固定安装有伸缩杆,伸缩杆上活动安装有套筒,套筒固定安装在放置盘上。

优选的,所述伸缩杆上套接有弹簧,弹簧的一端固定安装在放置盘上,弹簧的另一端固定安装在压力板上。

优选的,所述活动杆上开设有滑槽,滑槽内滑动安装有转轴,转轴固定安装在固定块上。

优选的,所述活动杆上的滑槽内开设有限位槽,限位槽内转动安装有限位圈,限位圈固定安装在转轴上。

优选的,所述挤压板上固定安装有缓冲垫片,缓冲垫片位于挤压板和半导体圆盘之间。

优选的,所述挤压板上开设有T型槽,T型槽内滑动安装有T型块,T型块固定安装在缓冲垫片上。

优选的,所述L型杆上开设有转动孔,转动孔内转动安装有转动轴,转动轴固定安装在挤压板上。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型中,通过挤压板的设置,在使用切割装置本体时,即使机械臂在上下料移动放置盘的过程中,放置盘产生了晃动,挤压板也会将半导体圆盘牢牢地固定住,从而避免了由于半导体圆盘位置偏移,造成半导体圆盘的切割位置出错,导致一整块半导体圆盘报废,从而保证不会受到经济上的损失。

本实用新型中,通过缓冲垫片的设置,在挤压板固定半导体圆盘时,缓冲垫片可以挡在两者之间,从避免挤压板对半导体圆盘造成损失,通过T型块,在缓冲垫片出现磨损后没可以通过T型块快速的安装与维护,从而提高了切割装置本体的实用性。

附图说明

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