[实用新型]熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备

权利要求书

1.熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，包括镀膜仓(1)、降温机构(12)、运动机构、蒸发机构与过滤组件，其特征在于，所述镀膜仓(1)一侧内壁焊接有轴承(18)、且镀膜仓(1)另一侧内壁开设有转动孔，所述轴承(18)一端焊接有连接杆(17)，所述转动孔转动连接有转动杆(15)，且转动杆(15)与连接杆(17)一端均焊接有固定机构(13)，所述固定机构(13)包括焊接于转动杆(15)与连接杆(17)一端的“C”字形固定板(19)、开设于“C”字形固定板(19)顶部的螺纹孔、螺接于螺纹孔内壁的螺纹杆(20)与焊接于螺纹杆(20)一端的夹持板(21)，所述蒸发机构包括焊接于镀膜仓(1)一侧外壁的蒸发箱(7)、焊接于蒸发箱(7)内壁的加热层(8)、焊接于加热层(8)内壁的导热层(9)、焊接于外壳(3)顶部的气泵(6)与通过管道套接于气泵(6)出风口的过滤组件，所述降温机构(12)包括焊接于镀膜仓(1)一侧外壁的箱体(22)、开设于箱体(22)一侧外壁的安装口、安装于安装口内壁的半导体制冷芯片(26)、焊接于安装口一端的散热管(24)、焊接于散热管(24)一侧内壁的散热风扇(25)，所述箱体(22)顶部开设有连接孔，且连接孔套接有降温管，所述气泵(6)进风口通过管道连接于蒸发箱排气口。

2.根据权利要求1所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述过滤组件包括焊接于焊接于镀膜仓(1)一侧外壁的外壳(3)与依次焊接于外壳(3)两侧内壁的第一滤网(4)与第二滤网(5)，第一滤网(4)的网孔直径小于第二滤网(5)的网孔直径，所述过滤组件出风口套接有导流管(2)。

3.根据权利要求2所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述运动机构包括焊接于镀膜仓(1)两侧内壁的电动滑轨(11)、滑动连接于电动滑轨(11)的滑块(10)与安装于滑块(10)底部的镀膜枪(16)，所述导流管(2)与降温管一端均套接有电动阀，且电动阀一端通过管道连接镀膜枪(16)进气口。

4.根据权利要求1所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述螺纹杆(20)顶部焊接有旋钮，且旋钮外壁套接有防滑软套，所述夹持板(21)一侧外壁与“C”字形固定板(19)底部内壁均粘接有海绵板。

5.根据权利要求1所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述箱体(22)底部开设有进风口，且进风口焊接有进风扇(23)，所述蒸发箱(7)顶部开设有进料口，且进料口套接有进料阀。

6.根据权利要求1所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述镀膜仓一侧外壁焊接有支撑架，且支撑架顶部焊接有伺服电机(14)，所述转动杆(15)远离“C”字形固定板(19)的一端焊接于伺服电机(14)输出端。

7.根据权利要求3所述的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备，其特征在于，所述气泵(6)、加热层(8)、电动滑轨(11)、伺服电机(14)、进风扇(23)、散热风扇(25)、半导体制冷芯片(26)与电动阀均通过导线连接有固定于镀膜仓(1)一侧外壁的开关，且开关连接电源线。