[实用新型]熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备有效
申请号: | 202120727826.3 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN214612727U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 宋永宾;宋欣怡 | 申请(专利权)人: | 青岛优百宇真空设备股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/50;C23C14/56;H01L31/18 |
代理公司: | 重庆壹手知专利代理事务所(普通合伙) 50267 | 代理人: | 彭啟强 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 熔融 薄膜 铜铟镓硒 吸收 蒸发 镀膜 设备 | ||
本实用新型公开了熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备,包括镀膜仓、降温机构、运动机构、蒸发机构与过滤组件,所述镀膜仓一侧内壁焊接有轴承、且镀膜仓另一侧内壁开设有转动孔,所述轴承一端焊接有连接杆,所述转动孔转动连接有转动杆,且转动杆与连接杆一端均焊接有固定机构,所述固定机构包括焊接于转动杆与连接杆一端的“C”字形固定板。本实用新型通过在镀膜仓内壁设置轴承,轴承一端焊接连接杆,连接杆与转动杆一端的固定机构对需要镀膜的膜片进行固定,需要固定时转动旋钮,带动夹持板下压,使固定更加牢固,夹持板外壁与“C”字形固定板底部内壁的海绵板与膜片接触,在进行固定的同时,能够避免对膜片外表面造成损伤。
技术领域
本实用新型涉及熔融盐泵薄膜铜铟镓硒领域,尤其涉及熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备。
背景技术
熔盐,盐类熔化后形成的熔融体,例如碱金属、碱土金属的卤化物、硝酸盐、硫酸盐的熔融体,熔盐是金属阳离子和非金属阴离子所组成的熔融体,能构成熔盐的阳离子有80余种,阴离子有30余种,组合成的熔盐可达2400余种,由于金属阳离子可有几种不同的价态,阴离子还可组成不同的络合阴离子,实际上熔盐的数目将超过2400 种,第三代太阳能电池就是铜铟镓硒CIGS(CIS中掺入Ga)等化合物薄膜太阳能电池及薄膜Si系太阳能电池,由于铜铟镓硒薄膜太阳电池具有敏感的元素配比和复杂的多层结构,因此,其工艺和制备条件的要求极为苛刻,产业化进程十分缓慢,只是在诸如计算器这样一些简单的产品中得到应用,除非晶硅外,一些TFPV材料还只是刚刚走出实验室,熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层在生产时需要进行共蒸发镀膜,需要使用到蒸发镀膜设备;
现有的共蒸发镀膜设备对膜片的固定不够牢固,且在对膜片的一面进行镀膜后需要取下翻面再次进行镀膜,比较浪费时间,大大降低了工作效率,且现有的共蒸发镀膜设备一般只能进行镀膜,然后取下进行自然冷却,才能进行下一步操作,降温速度较慢,影响工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备,包括镀膜仓、降温机构、运动机构、蒸发机构与过滤组件,所述镀膜仓一侧内壁焊接有轴承、且镀膜仓另一侧内壁开设有转动孔,所述轴承一端焊接有连接杆,所述转动孔转动连接有转动杆,且转动杆与连接杆一端均焊接有固定机构,所述固定机构包括焊接于转动杆与连接杆一端的“C”字形固定板、开设于“C”字形固定板顶部的螺纹孔、螺接于螺纹孔内壁的螺纹杆与焊接于螺纹杆一端的夹持板,所述蒸发机构包括焊接于镀膜仓一侧外壁的蒸发箱、焊接于蒸发箱内壁的加热层、焊接于加热层内壁的导热层、焊接于外壳顶部的气泵与通过管道套接于气泵出风口的过滤组件,所述降温机构包括焊接于镀膜仓一侧外壁的箱体、开设于箱体一侧外壁的安装口、安装于安装口内壁的半导体制冷芯片、焊接于安装口一端的散热管、焊接于散热管一侧内壁的散热风扇,所述箱体顶部开设有连接孔,且连接孔套接有降温管,所述气泵进风口通过管道连接于蒸发箱排气口。
优选的,所述过滤组件包括焊接于焊接于镀膜仓一侧外壁的外壳与依次焊接于外壳两侧内壁的第一滤网与第二滤网,第一滤网的网孔直径小于第二滤网的网孔直径,所述过滤组件出风口套接有导流管。
优选的,所述运动机构包括焊接于镀膜仓两侧内壁的电动滑轨、滑动连接于电动滑轨的滑块与安装于滑块底部的镀膜枪,所述导流管与降温管一端均套接有电动阀,且电动阀一端通过管道连接镀膜枪进气口。
优选的,所述螺纹杆顶部焊接有旋钮,且旋钮外壁套接有防滑软套,所述夹持板一侧外壁与“C”字形固定板底部内壁均粘接有海绵板。
优选的,所述箱体底部开设有进风口,且进风口焊接有进风扇,所述蒸发箱顶部开设有进料口,且进料口套接有进料阀。
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