[实用新型]三氯化砷提纯装置有效

专利信息
申请号: 202120732755.6 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN215026104U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 曾小东;郭金伯;陈昭龙;朱柏浩 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: B01D3/14 分类号: B01D3/14;B01D3/32;B01D5/00;C01G28/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李琼芳;肖小龙
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 氯化 提纯 装置
【权利要求书】:

1.一种三氯化砷提纯装置,其特征在于,所述提纯装置包括精馏釜、精馏塔节和冷凝器,精馏釜和精馏塔节之间设布气隔板;精馏釜包括釜体,釜体呈卧式圆柱结构且圆柱结构的两个端面均为外凸弧面。

2.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,所述釜体为哈氏合金C2000釜体。

3.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节为哈氏合金C2000塔节。

4.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,布气隔板为哈氏合金C2000隔板。

5.根据权利要求4所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,布气隔板上网孔直径为2~3mm,网孔间距为5~6mm。

6.根据权利要求1~5任一所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节上设有砷填料入料手孔。

7.根据权利要求6所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节和冷凝器之间还设有分流取样塔节。

8.根据权利要求7所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,分流取样塔节为石英塔节。

9.根据权利要求8所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,分流取样塔节上设置热电偶测温。

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