[实用新型]三氯化砷提纯装置有效
申请号: | 202120732755.6 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN215026104U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 曾小东;郭金伯;陈昭龙;朱柏浩 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | B01D3/14 | 分类号: | B01D3/14;B01D3/32;B01D5/00;C01G28/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李琼芳;肖小龙 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氯化 提纯 装置 | ||
1.一种三氯化砷提纯装置,其特征在于,所述提纯装置包括精馏釜、精馏塔节和冷凝器,精馏釜和精馏塔节之间设布气隔板;精馏釜包括釜体,釜体呈卧式圆柱结构且圆柱结构的两个端面均为外凸弧面。
2.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,所述釜体为哈氏合金C2000釜体。
3.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节为哈氏合金C2000塔节。
4.根据权利要求1所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,布气隔板为哈氏合金C2000隔板。
5.根据权利要求4所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,布气隔板上网孔直径为2~3mm,网孔间距为5~6mm。
6.根据权利要求1~5任一所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节上设有砷填料入料手孔。
7.根据权利要求6所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,精馏塔节和冷凝器之间还设有分流取样塔节。
8.根据权利要求7所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,分流取样塔节为石英塔节。
9.根据权利要求8所述的三氯化砷提纯装置,其特征在于,分流取样塔节上设置热电偶测温。
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