[实用新型]三氯化砷提纯装置有效

专利信息
申请号: 202120732755.6 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN215026104U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 曾小东;郭金伯;陈昭龙;朱柏浩 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: B01D3/14 分类号: B01D3/14;B01D3/32;B01D5/00;C01G28/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李琼芳;肖小龙
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 氯化 提纯 装置
【说明书】:

本实用新型涉及物质提纯技术领域,公开一种三氯化砷提纯装置,所述提纯装置包括精馏釜、精馏塔节和冷凝器,精馏釜和精馏塔节之间设布气隔板;精馏釜包括釜体,釜体呈卧式圆柱结构且圆柱结构的两个端面均为外凸弧面。精馏釜釜体采用哈氏合金C2000材质制作,一来该材质机械强度高,不会与三氯化砷反应,可保证操作安全性和提纯纯度,二来可使釜体体积达到300~500L,利于量产提纯,将釜体结构由传统球体改进为卧式圆柱结构,可节约占地空间,更契合实际生产过程;增设砷填料入料手孔,以便往精馏塔节中加入7N高纯砷填料,使精馏除Sn、Se、Pb等杂质元素的去除效率更高,提纯更彻底,产品质量稳定。

技术领域

本实用新型涉及物质提纯技术领域,具体地,涉及一种三氯化砷提纯装置。

背景技术

高纯材料的生产中,提纯工序是必不可少的,常见工艺是提纯它们相对应的氯化物(三氯化砷、三氯化锑等),但是氯化物具有沸点高、腐蚀性强、与空气易水解等特征,而精馏提纯的设备材质选型比较少,大多是使用石英材质、高硼硅玻璃材质;硼硅玻璃的急变温差不能超过120摄氏度,在实际精馏高沸点物料的生产活动中容易裂釜;石英球釜的加工体积最大约为50L,不利于规模化量产;同时石英和硼硅玻璃均为易碎品,如人员操作失误或意外致使反应釜破裂时,将会导致大量氯化物泄漏,就三氯化砷而言,其为剧毒物质,一旦发生泄漏,将存在极大的安环隐患。

发明内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷,提供一种产能大、效率高、运行稳定且安全风险低的三氯化砷提纯装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现:

一种三氯化砷提纯装置,所述提纯装置包括精馏釜、精馏塔节和冷凝器,精馏釜和精馏塔节之间设布气隔板;精馏釜包括釜体,釜体呈卧式圆柱结构且圆柱结构的两个端面均为外凸弧面。

进一步地,所述釜体为哈氏合金C2000釜体。

进一步地,精馏塔节为哈氏合金C2000塔节。

进一步地,布气隔板为哈氏合金C2000隔板。

更进一步地,布气隔板上网孔直径为2~3mm,网孔间距为5~6mm。

更进一步地,精馏塔节上设有砷填料入料手孔。

再进一步地,精馏塔节和冷凝器之间还设有分流取样塔节。

再更进一步地,分流取样塔节为石英塔节。

还进一步地,分流取样塔节上设置热电偶测温。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:

1)精馏釜釜体采用哈氏合金C2000材质制作,一来该材质机械强度高,不会与三氯化砷反应,可保证操作安全性和提纯纯度,二来可使釜体体积达到300~500L,利于量产提纯,将釜体结构由传统球体改进为卧式圆柱结构,可节约占地空间,更契合实际生产过程;

2)增设砷填料入料手孔,以便往精馏塔节中加入7N高纯砷填料,使精馏除Sn、Se、Pb等杂质元素的去除效率更高,提纯更彻底,产品质量稳定;

3)分流取样塔节和冷凝器采用石英材质制作,而非哈氏合金C2000,可有效保证提纯纯度。

附图说明

图1为实施例1所述三氯化砷提纯装置的示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步的说明,其中,附图仅用于示例性说明,表示的仅是示意图,而非实物图,不能理解为对本专利的限制;为了更好地说明本实用新型的实施例,附图某些部件会有省略、放大或缩小,并不代表实际产品的尺寸;对本领域技术人员来说,附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

实施例1

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