[实用新型]管式PECVD设备

权利要求书

1.管式PECVD设备，用于对基材进行镀膜，包括：

腔体；

射频电源接入部，设置在所述腔体上，具有射频馈入部和接地部，所述射频馈入部的一端和射频电源的发射端连接，所述射频馈入部的另一端伸进所述腔体内，所述接地部的一端和所述射频电源的接地端连接，所述接地部的另一端伸进所述腔体内；

载片舟，用于保持所述基材并被送入所述腔体内或者从所述腔体内被送出，所述载片舟包括多个第一导体和多个第二导体，所述第一导体和所述第二导体之间被绝缘，所述基材被保持在所述第一导体和所述第二导体中的其中一个；

在被送入所述腔体内的状态下，所述第一导体和所述第二导体中的其中一个，和所述射频馈入部连接，所述第一导体和所述第二导体中的另一个，和所述接地部连接。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述射频馈入部和所述接地部分别设置在所述腔体的尾部。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述射频馈入部包括：

第一电极杆，所述第一电极杆伸进所述腔体内；

第二电极杆，设置在所述腔体的外部，所述第二电极杆和所述发射端连接；

第一连接部，安装到所述尾部，使所述第一电极杆的轴向的一端的第一端部和所述第二电极杆的轴向的一端的第二端部相互导通，并至少使所述第一端部和所述第二端部被绝缘以及被屏蔽。

4.根据权利要求3所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一连接部包括：

第一绝缘部，设置为至少对所述第一端部和所述第二端部进行绝缘；

第一安装部，设置在所述第一绝缘部的外部，所述第一连接部通过所述第一安装部安装到所述尾部，并且所述第一安装部至少对所述第一端部和所述第二端部进行屏蔽。

5.根据权利要求3所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述射频馈入部还包括第一绝缘管，所述第一绝缘管容置在所述腔体内，所述第一绝缘管的轴向的一端和所述第一连接部连接，并以使所述第一电极杆的轴向的另一端的第三端部显露出来的方式套住所述第一电极杆。

6.根据权利要求3所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述射频馈入部还包括第一屏蔽管，所述第一屏蔽管套住所述第二电极杆。

7.根据权利要求1所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述载片舟包括底座以及多个托盘，所述托盘间隔设置并被所述底座支撑，各所述托盘分别包括一个所述第一导体和一个所述第二导体。

8.根据权利要求7所述的管式PECVD设备，其特征在于，在各所述托盘中，所述第一导体和所述第二导体之间设置有绝缘介质。

9.根据权利要求8所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述绝缘介质包括被夹持在所述第一导体和所述第二导体之间的第七绝缘件。

10.根据权利要求8所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述绝缘介质包括至少在所述第一导体和所述第二导体中的其中一个的表面形成的绝缘层，所述绝缘层和所述第一导体以及所述第二导体中的另一个相对。

11.根据权利要求2所述的管式PECVD设备，其特征在于，所述载片舟的长度方向的一端，设置有：

第一导通部，分别连接所述第一导体和所述第二导体的其中一个，并且，在所述载片舟被送入所述腔体的状态下，和所述射频馈入部连接；

第二导通部，分别连接所述第一导体和所述第二导体中的另一个，并且，在所述载片舟被送入所述腔体的状态下，和所述接地部连接。