[实用新型]一种机械手传送系统

说明书

本实用新型涉及一种机械手传送系统，包括第一腔室和第二腔室；所述第一腔室内设置有机械手和送料轨道，所述机械手的自由端沿所述送料轨道移动以将物品送入所述第二腔室；所述机械手的自由端设置有磁力件；所述送料轨道上设置有电磁补偿装置；所述电磁补偿装置与所述磁力件相配合以补偿所述机械手的下垂量。其在送料轨道上设置电磁补偿装置，在机械手的自由端设置有磁力件，通过调整磁力补偿掉送料机械手的下垂量，结构简单，方便作业，适用范围广。

技术领域

本实用新型涉及物料传送技术领域，尤其是指一种机械手传送系统。

背景技术

有机二极管(OLED)作为液晶显示后的新一代发光显示技术，具有可视角宽、对比度高、色彩鲜艳、可柔性显示等优点，已经被普遍应用于各种手机、可穿戴设备中，具有良好的应用前景。

在进行蒸镀操作时，需要在蒸镀腔室内放置待蒸镀的硅片，然后在蒸镀腔中进行蒸镀操作。目前，常用机械手夹持托盘，并在托盘内放置硅片以进行传送，使得硅片和托盘到达蒸镀腔内。机械手受到重力的影响具有一定的下垂量，影响托盘中硅片的正常传送。

因而，需要设计一种机械手传送系统。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种机械手传送系统，其在送料轨道上设置电磁补偿装置，在机械手的自由端设置有磁力件，通过调整磁力补偿掉送料机械手的下垂量，结构简单，方便作业，适用范围广。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种机械手传送系统，包括第一腔室和第二腔室；所述第一腔室内设置有机械手和送料轨道，所述机械手的自由端沿所述送料轨道移动以将物品送入所述第二腔室；所述机械手的自由端设置有磁力件；所述送料轨道上设置有电磁补偿装置；所述电磁补偿装置与所述磁力件相配合以补偿所述机械手的下垂量。

作为优选的，所述送料轨道包括环形轨道和多个直线轨道；所述环形轨道连接各个直线轨道，各所述直线轨道分别连接至各第二腔室。

作为优选的，所述第二腔室内设置有与所述直线轨道相配合的转接轨道。

作为优选的，所述送料轨道设置在所述第一腔室的底部或顶部；所述转接轨道设置在所述第二腔室的底部或顶部。

作为优选的，所述的机械手传送系统，还包括控制模块，所述控制模块与所述电磁补偿装置相连接；所述控制模块根据移动距离及重量控制磁力或者根据下垂量实时控制磁力。

作为优选的，所述磁力件为永磁铁或电磁铁。

作为优选的，所述磁力件为用于放置蒸镀材料的磁性托盘。

作为优选的，所述第一腔室上设置有出料口，所述第二腔室上设置有入料口；所述出料口与所述入料口连接，所述出料口与所述入料口之间设置有闸板。

作为优选的，所述第一腔室内增设有校正平台，所述校正平台上设置有用于感应所述机械手下垂量的感应器。

作为优选的，所述机械手为三轴摆臂机械手。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、本实用新型设置第一腔室和第二腔室，通过在第一腔室内设置送料机械手以及送料轨道，能够快速的将蒸镀硅片或蒸镀材料传送至第二腔室，输送效率高，方便作业。

2、本实用新型通过设置电磁补偿装置，电磁补偿装置设置在送料轨道上，且机械手的自由端设置有磁力件。通过调节电磁补偿装置中的电流，能够使电磁补偿装置产生磁性与机械手上的磁力件相配合，从而补偿掉机械手的下垂量。本实用新型的结构简单，易于实现且适用范围较广。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：