[实用新型]用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，其特征在于，包括：

壳体，包括彼此隔离的安装腔和洗液腔，所述洗液腔用于容纳清洗液；

输送泵，设置于所述安装腔内，所述输送泵包括进液端和出液端，所述进液端与所述安装腔连通，用于吸取所述清洗液；

第一管道，所述第一管道的一端与所述出液端连通，另一端设有与气体管道的进液口适配的管道接口。

2.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述管道接口包括彼此连通的第一接口段和第二接口段，所述第一接口段与所述第一管道连通，所述第二接口段具有与所述进液口配合的螺纹接口，所述第二接口段的延伸方向与所述第一接口段的延伸方向不在同一条直线上。

3.根据权利要求2所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述第二接口段的延伸方向垂直于所述第一接口段的延伸方向。

4.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述气体管道清洗机构还包括放置于所述洗液腔内的洗液瓶，所述洗液瓶用于容置所述清洗液；所述进液端通过第二管道与所述洗液瓶连通。

5.根据权利要求4所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述洗液瓶的数量为多个，且至少两个洗液瓶内容置的清洗液不同。

6.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述壳体还设有与输液泵电性连接的调节开关。

7.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述气体管道清洗机构还包括废液回收室，所述废液回收室通过第三管道与气体管道的出液口连通。

8.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述气体管道清洗机构还包括报警机构，所述报警机构为设置于所述洗液腔的液位报警机构和/或设置于所述第一管道的流量报警机构。

9.根据权利要求1所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述安装腔为封闭的空腔，所述洗液腔的顶部敞开。

10.根据权利要求1～9任一项所述的气体管道清洗机构，其特征在于，所述气体管道清洗机构还包括设置于顶部的提手。