[实用新型]用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构

说明书

本申请提出了一种用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，包括壳体、输送泵和第一管道。壳体包括彼此隔离的安装腔和洗液腔，洗液腔用于容纳清洗液；输送泵，设置于安装腔内，输送泵包括进液端和出液端，进液端与安装腔连通，用于吸取清洗液；第一管道第一管道的一端与出液端连通，另一端设有与气体管道的进液口适配的管道接口。相比手动挤压喷壶，输送泵输送清洗液的流动速度较为平稳，气体管道受力较为均匀；并且管道接口与气体管道的进液口适配，密闭性较好。因此，气体管道清洗机构不容易出现清洗液泄漏的现象，不容易出现腐蚀操作人员的手部和造成机台停止运行的风险的现象，进而提高了操作人员的安全性，增强了机台的稳定性。

技术领域

本申请涉及化学气相沉积系统清洗领域，特别是涉及用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构。

背景技术

化学气相沉积主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相沉积系统(如钨金属化学气相沉积系统)的气体管道需要定期清洗。目前主要是通过手持洗液瓶将清洗液挤入气体管道进行清洗，该种方式清洗液容易溅出，存在腐蚀操作人员的手部和造成机台停止运行的风险。

发明内容

本申请提供用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，旨在解决清洗气体管道时清洗液容易溅出，存在腐蚀操作人员的手部和造成机台停止运行的风险的问题。

本申请实施例提出了一种用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，包括壳体、输送泵和第一管道。

壳体包括彼此隔离的安装腔和洗液腔，所述洗液腔用于容纳清洗液；

输送泵，设置于所述安装腔内，所述输送泵包括进液端和出液端，所述进液端与所述安装腔连通，用于吸取所述清洗液；

第一管道所述第一管道的一端与所述出液端连通，另一端设有与气体管道的进液口适配的管道接口。

根据本申请的一个实施例，所述管道接口包括彼此连通的第一接口段和第二接口段，所述第一接口段与所述第一管道连通，所述第二接口段具有与所述进液口配合的螺纹接口，所述第二接口段的延伸方向与所述第一接口段的延伸方向不在同一条直线上。

根据本申请的一个实施例，所述第二接口段的延伸方向垂直于所述第一接口段的延伸方向。

根据本申请的一个实施例，所述气体管道清洗机构还包括放置于所述洗液腔内的洗液瓶，所述洗液瓶用于容置所述清洗液；所述进液端通过第二管道与所述洗液瓶连通。

根据本申请的一个实施例，所述洗液瓶的数量为多个，且至少两个洗液瓶内容置的清洗液不同。

根据本申请的一个实施例，所述壳体还设有与输液泵电性连接的调节开关。

根据本申请的一个实施例，所述气体管道清洗机构还包括废液回收室，所述废液回收室通过第三管道与气体管道的出液口连通。

根据本申请的一个实施例，所述气体管道清洗机构还包括报警机构，所述报警机构为设置于所述洗液腔的液位报警机构和/或设置于所述第一管道的流量报警机构。

根据本申请的一个实施例，所述安装腔为封闭的空腔，所述洗液腔的顶部敞开。

根据本申请的一个实施例，所述气体管道清洗机构还包括设置于顶部的提手。

根据本申请实施例的用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，洗液腔容纳有清洗液。输送泵设置于安装腔内，通过进液端吸取清洗液，经出液端流出，再通过第一管道输送至气体管道内。相比手动挤压喷壶，输送泵输送清洗液的流动速度较为平稳，气体管道受力较为均匀；并且管道接口与气体管道的进液口适配，密闭性较好。因此，气体管道清洗机构不容易出现清洗液泄漏的现象，不容易出现腐蚀操作人员的手部和造成机台停止运行的风险的现象，进而提高了操作人员的安全性，增强了机台的稳定性。

附图说明