[实用新型]一种用于磁控溅射的防热变形装置

权利要求书

1.一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：包括腔室(1)，所述腔室(1)内设有两个位于基材(3)和靶材(4)两侧的挡管(7)，所述挡管(7)的两端均设有封堵板(11)，所述封堵板(11)与挡管(7)共同形成导热腔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述挡管(7)背离另一挡管(7)的一侧设有用于安装挡管(7)的安装板(6)，所述安装板(6)设于腔室(1)的内壁上；

所述挡管(7)的截面为直角三角形，所述挡管(7)包括第一直角板(8)、第二直角板(9)和斜板(10)，所述挡管(7)靠近另一挡板的侧面为斜板(10)，所述第一直角板(8)安装于安装板(6)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述安装板(6)内开设有扩容腔(13)，所述第一直角板(8)上穿设有连接管(14)，所述连接管(14)连通于扩容腔(13)。

4.根据权利要求3所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述安装板(6)上穿设有第一外接管(15)，所述第一外接管(15)的一端连通于扩容腔(13)，另一端位于腔室(1)外。

5.根据权利要求4所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述封堵板(11)上穿设有第二外接管(17)，所述第二外接管(17)的一端连通于导热腔(12)，另一端位于腔室(1)外。

6.根据权利要求5所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述第一外接管(15)和第二外接管(17)上均设有阀门(16)。

7.根据权利要求3 所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述第一直角板(8)背离安装板(6)的一侧设有若干安装块(18)，所述安装板(6)上穿设有螺丝(21)，所述螺丝(21)与安装块(18)螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于磁控溅射的防热变形装置，其特征在于：所述扩容腔(13)的内壁上设有若干密封管(22)，所述螺丝(21)穿设在密封管(22)内。