[实用新型]一种用于磁控溅射的防热变形装置

说明书

本申请涉及磁控溅射成膜技术的领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射的防热变形装置，其包括腔室，所述腔室内设有两个位于基材和靶材两侧的挡管，所述挡管的两端均设有封堵板，所述封堵板与挡管共同形成导热腔。本申请在腔室内设置的挡管能够对低能粒子进行阻挡，导热腔内设置的水能够对挡管上的热量进行吸收，同时能够将热量在挡管上快速分散，有效降低了挡管发生热变形的可能性，从而能够提升磁控溅射成膜的成膜质量。

技术领域

本申请涉及磁控溅射成膜技术的领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射的防热变形装置。

背景技术

磁控溅射的工作原理是指电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出氩正离子和新的电子；新电子飞向基片，氩离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。

在磁控溅射中，能量较低的粒子在撞击向靶材的途中会向两侧偏斜，从而造成粒子和能量的浪费。因此相关技术中会在磁控溅射腔室内放置位于基材和靶材两侧的L型挡板，从而阻挡部分粒子逸散。

针对上述中的相关技术，发明人认为粒子撞击到靶材和挡板上时会有大量的能量转换成热能，从而L型挡板易发生热变形，进而会降低溅射制成的膜的均匀性。

实用新型内容

为了磁控溅射成膜的质量，本申请提供一种用于磁控溅射的防热变形装置。

本申请提供的一种用于磁控溅射的防热变形装置，采用如下的技术方案：

一种用于磁控溅射的防热变形装置，包括腔室，所述腔室内设有两个位于基材和靶材两侧的挡管，所述挡管的两端均设有封堵板，所述封堵板与挡管共同形成导热腔。

通过采用上述技术方案，挡管的其中一个侧壁用于阻挡溅射的粒子，导热腔内盛状水，水的比热容较高，能够从挡管上吸收大量的热量，从而对挡管起到保护的作用，降低了挡管因受热而变形的可能性。同时水能够将热量快速导入挡管的其他侧壁上，提升了挡管的受热均匀性，进一步提升了挡管的耐受热变形能力，从而有效提升了磁控溅射成膜的质量。

可选的，所述挡管背离另一挡管的一侧设有用于安装挡管的安装板，所述安装板设于腔室的内壁上；

所述挡管的截面为直角三角形，所述挡管包括第一直角板、第二直角板和斜板，所述挡管靠近另一挡板的侧面为斜板，所述第一直角板安装于安装板上。

通过采用上述技术方案，粒子作用到斜板上，产生的热量较少，第一直角板安装在安装板能够提升挡管的稳定性。

可选的，所述安装板内开设有扩容腔，所述第一直角板上穿设有连接管，所述连接管连通于扩容腔。

通过采用上述技术方案，扩容腔通过连接管连通于导热腔，从而扩容腔内也能够盛装部分水用于吸收挡管上的热量，并且挡管上的热量也能够传导到安装板上。

可选的，所述安装板上穿设有第一外接管，所述第一外接管的一端连通于扩容腔，另一端位于腔室外。

通过采用上述技术方案，第一外接管连通于扩容腔，从而能够在水的温度上升到一定的程度后对水进行更换，进而能够更加有效地对挡管进行散热，进一步降低了挡管受热变形的可能性。

可选的，所述封堵板上穿设有第二外接管，所述第二外接管的一端连通于导热腔，另一端位于腔室外。

通过采用上述技术方案，第二外接管连通于导热腔，从而水能够从第一外接管进入到导热腔内，再经过导热腔和第二外接管流出到腔室外，实现了水的快速流通，进一步提升了水在挡管内的吸热效率。

可选的，所述第一外接管和第二外接管上均设有阀门。

通过采用上述技术方案，在不需要更换水时，阀门能够封闭第一外接管和第二外接管。