[实用新型]一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构

说明书

本实用新型涉及刻蚀机技术领域，尤其涉及一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构，解决现有技术中存在的缺点，包括壳体和水冷盘，所述壳体为空腔结构，壳体的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架，所述卡盘架的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座，所述固定座的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块，所述水冷盘的顶部开设有对称布置且与所述卡块相匹配的卡槽。通过卡盘架、卡块以及卡槽等结构的设置，安装时可直接将水冷盘按压安装在卡盘架上，安装方便快捷，采用了四组卡块设计，固定性强。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀机技术领域，尤其涉及一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构。

背景技术

LED刻蚀机集成了高密度等离子源、快速响应的全自动匹配射频系统、精密的腔室温度控制系统、稳定的高精度压力控制系统、先进的中央喷嘴进气系统和独特的腔室表面处理等多项先进技术，用IC刻蚀工艺更为精密的设计要求来实现LED领域更高性能的刻蚀工艺，可以适应不同客户的不同规格图形片要求，获得优异的刻蚀工艺结果。水冷盘是腔室温度控制的核心部件。

目前市场上的水冷盘都是采用多个螺丝、螺栓配合进行安装，安装复杂，耗费人力和工时。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在安装复杂的缺点，而提出的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构，包括壳体和水冷盘，所述壳体为空腔结构，壳体的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架，所述卡盘架的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座，所述固定座的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块，所述水冷盘的顶部开设有对称布置且与所述卡块相匹配的卡槽。

优选的，所述壳体的内部滑动安装有升降板，升降板的顶部焊接有四组对称布置的支撑板，每两个支撑板之间均通过螺钉固定有楔块，所述卡块的一侧焊接有条形板，所述条形板靠近底端的一侧焊接有连接杆，所述连接杆与楔块滑动配合。

优选的，所述楔块的一侧开设有斜槽，所述连接杆的一端嵌入在所述斜槽的内部。

优选的，所述固定座的内部开设有通槽，所述卡盘架上开设有对称布置的贯穿槽孔，所述条形板穿过通槽和贯穿槽孔的内部。

优选的，所述通槽的内壁一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端与所述卡块的一侧固定连接。

优选的，所述升降板的底部通过螺母螺栓固定有拆卸轴，拆卸轴的另一端焊接有把手。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中通过卡盘架、卡块以及卡槽等结构的设置，安装时可直接将水冷盘按压安装在卡盘架上，安装方便快捷，采用了四组卡块设计，固定性强。

2、本实用新型中通过升降板、楔块、拆卸轴以及把手等结构的设置，可拉动下的把手使得卡块与卡槽分离，从而能够快速地将水冷盘拆下，便于维修和更换。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构的示意图；

图2为本实用新型提出的水冷盘拆下的结构示意图；

图3为本实用新型提出的去掉壳体的结构示意图；

图4为本实用新型提出的水冷盘的结构示意图；

图5为本实用新型提出的固定座的侧面剖视图。

图中：1壳体、2升降板、3拆卸轴、4把手、5卡盘架、6水冷盘、61卡槽、7固定座、71通槽、72弹簧、8卡块、9支撑板、10楔块、11连接杆、12条形板。

具体实施方式