[实用新型]具有温度梯度的双均温区氮化镓热场

权利要求书

1.具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，包括炉体外壳、布置于炉体外壳内部上部的上均温区、布置于炉体外壳内部下部的下均温区，其特征在于：所述上均温区包括嵌装于炉体外壳内壁中的多个上加热模块，相邻两个所述上加热模块之间、最上端上加热模块上表面与炉体外壳之间、最下端上加热模块下表面与炉体外壳之间均布置有上热电偶，所述下均温区包括嵌装于炉体外壳内壁的多个下加热模块，相邻两个所述下加热模块之间、最上端下加热模块上表面与炉体外壳之间、最下端下加热模块下表面与炉体外壳之间均布置有下热电偶，多个所述上加热模块、多个所述下加热模块连接有可调节功率的外部加热电源，所述上均温区与下均温区之间还布置有散热区，所述散热区包括在炉体外壳内部开设的环形冷却水通道，所述环形冷却水通道上对向开设有冷却水入口通道、冷却水出口通道。

2.根据权利要求1所述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，其特征在于：多个所述上加热模块、下加热模块均为三个电阻丝加热模块，三个上加热模块由上至下依次为上加热模块A、上加热模块B、上加热模块C，三个下加热模块由上至下依次为下加热模块A、下加热模块B、下加热模块C。

3.根据权利要求1所述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，其特征在于：所述上热电偶共为四个，四个上热电偶由上至下依次为上热电偶D、上热电偶E、上热电偶F、上热电偶G。

4.根据权利要求1所述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，其特征在于：所述下热电偶共为四个，四个下热电偶由上至下依次为下热电偶D、下热电偶E、下热电偶F、下热电偶G。

5.根据权利要求1所述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，其特征在于：所述上热电偶、下热电偶的测温端分别伸入至对应上加热模块、下加热模块的内部。