[实用新型]具有温度梯度的双均温区氮化镓热场

说明书

本实用新型涉及热场，具体是一种具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，包括炉体外壳、上均温区、下均温区，其技术要点是：所述上均温区包括嵌装于炉体外壳内壁中的多个上加热模块、相邻两个上加热模块之间、上加热模块与炉体外壳之间布置的多个上热电偶，所述下均温区包括嵌装于炉体外壳内壁的多个下加热模块、相邻两个下加热模块之间、下加热模块与炉体外壳之间布置的多个下热电偶，多个所述上加热模块、多个所述下加热模块连接有可调节功率的外部加热电源，所述上均温区与下均温区之间还布置有散热区，所述散热区包括在炉体外壳内部布置有对向开设有冷却水入口通道、冷却水出口通道的环形冷却水通道。其结构简单，解决了产品质量下降的问题。

技术领域

本实用新型涉及热场，具体是一种具有温度梯度的双均温区氮化镓热场。

背景技术

针对氮化镓晶体生长，由于特殊工艺条件的需求，要求热场上部的温度低于下部的温度，所以目前出现一种带有双均温区的氮化镓热场，使用上、下两个加热模块进行加热，实现热场上部和下部的温度不同，但是这种热场也存在一些问题：

1.两个均温区的加热模块均为一整块，当加热模块中的电阻丝部分损坏时，需要更换全部电阻丝，维修成本较高；且两个均温区温度无法准确调节，无法满足氮化镓晶体要求的生长温度，影响产品质量。

2. 热场下部加热后，热气会向上运动，导致上部温度升高，与氮化镓晶体生长所需要的温度不同，且无法进行监测和调节，导致部分物料蒸汽结晶，影响沉积后最终产品的质量。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，其结构简单，维修成本低，解决了由于上部温度过高、无法准确调节温度而引起的产品质量下降的问题。

本实用新型的技术方案是：

具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，包括炉体外壳、布置于炉体外壳内部上部的上均温区、布置于炉体外壳内部下部的下均温区，其技术要点是：所述上均温区包括嵌装于炉体外壳内壁中的多个上加热模块，相邻两个所述上加热模块之间、最上端上加热模块上表面与炉体外壳之间、最下端上加热模块下表面与炉体外壳之间均布置有上热电偶，所述下均温区包括嵌装于炉体外壳内壁的多个下加热模块，相邻两个所述下加热模块之间、最上端下加热模块上表面与炉体外壳之间、最下端下加热模块下表面与炉体外壳之间均布置有下热电偶，多个所述上加热模块、多个所述下加热模块连接有可调节功率的外部加热电源，所述上均温区与下均温区之间还布置有散热区，所述散热区包括在炉体外壳内部开设的环形冷却水通道，所述环形冷却水通道上对向开设有冷却水入口通道、冷却水出口通道。

上述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，多个所述上加热模块、下加热模块均为三个电阻丝加热模块，三个上加热模块由上至下依次为上加热模块A、上加热模块B、上加热模块C，三个下加热模块由上至下依次为下加热模块A、下加热模块B、下加热模块C。

上述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，所述上热电偶共为四个，四个上热电偶由上至下依次为上热电偶D、上热电偶E、上热电偶F、上热电偶G。

上述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，所述下热电偶共为四个，四个下热电偶由上至下依次为下热电偶D、下热电偶E、下热电偶F、下热电偶G。

上述的具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，所述上热电偶、下热电偶的测温端分别伸入至对应上加热模块、下加热模块的内部。

本实用新型的有益效果是：

1.上均温区由三个上加热模块组成，下均温区由三个下加热模块组成，三个上加热模块和三个下加热模块都可以单独调节加热温度，互不干扰，可以形成带有温度梯度的双均温区热场；当加热模块发生故障时，只拆换下损坏部分所在的加热模块的电阻丝即可，节约了维修成本。