[实用新型]一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置

权利要求书

1.一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，包括研磨盘(1)、固定环(2)、研磨棒(3)、环形固定件(7)、进气头(8)、出气头(12)、连接管(13)、抽气机(14)、推盘(16)、电机(17)、连接键(18)、限位滑块(19)和锁紧件(21)；

研磨盘(1)上设有散热槽(4)和散热腔(6)，且散热腔(6)和散热槽(4)连通；研磨棒(3)滑动设置在研磨盘(1)上并位于散热槽(4)内，且研磨棒(3)伸出研磨盘(1)的底端；固定环(2)滑动设置在研磨盘(1)上并抵住研磨棒(3)，且固定环(2)通过锁紧件(21)与研磨盘(1)固定；

环形固定件(7)上设有限位环(10)，研磨盘(1)滑动设置在环形固定件(7)上并与限位环(10)相贴；环形固定件(7)上设有交换腔(9)，进气头(8)和出气头(12)设置在环形固定件(7)上并与交换腔(9)连通，且出气头(12)通过连接管(13)与抽气机(14)连通；限位滑块(19)设置在推盘(16)上并与环形固定件(7)滑动连接，电机(17)设置在推盘(16)的底部，且电机(17)通过连接键(18)与研磨盘(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，研磨棒(3)包括限位凸台和主体棒，研磨盘(1)上的散热槽(4)的直径大于主体棒的直径。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，研磨盘(1)上设有多组散热腔(6)，且多组散热腔(6)沿着研磨盘(1)的轴心环形阵列分布。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，限位环(10)上设有多组滚珠，且多组滚珠环形阵列在限位环(10) 上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，进气头(8)和出气头(12)与研磨盘(1)均为螺纹可拆卸连接，进气头(8)的数目为多组，且进气头(8)上设有过滤网。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，研磨盘(1)上设有环形槽(11)，且环形槽(11)与散热腔(6)连通。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，散热腔(6)的内壁上设有石墨烯导热层。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，其特征在于，还包括气缸(20)；气缸(20)通过支架设置在环形固定件(7)的上方，且气缸(20)的伸缩杆与推盘(16)连接。