[实用新型]一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置

说明书

一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，包括研磨盘、固定环、研磨棒、环形固定件、进气头、出气头、连接管、抽气机、推盘、限位滑块和电机；研磨盘上设有散热槽和散热腔，且散热腔和散热槽连通；研磨棒滑动设置在研磨盘上并位于散热槽内，且研磨棒伸出研磨盘的底端；固定环滑动设置在研磨盘上并抵住研磨棒，且固定环通过锁紧件与研磨盘固定；环形固定件上设有限位环，研磨盘滑动设置在环形固定件上；进气头和出气头设置在环形固定件上并与交换腔连通，且出气头通过连接管与抽气机连通；限位滑块设置在推盘上并与环形固定件连接，电机通过连接键与研磨盘连接。本实用新型方便更换拆卸，节约资源降低成本且更加环保；不易损坏晶圆；提高了散热效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体研磨技术领域，尤其涉及一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之工IC产品。晶圆在投入使用时，需要对其进行研磨。目前，通过晶圆研磨设备进行研磨，但在晶圆研磨的过程中，会产生热量和粉屑，入如果不及时处理以及降温，会影响晶圆的质量，目前的晶圆研磨盘在工作时，降温效果不够好，而且在研磨时产生的粉屑影响研磨的平整度，研磨盘都是整体的，损坏时需整个更换，造成了资源浪费，不够环保且增加了加工成本。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，通过固定环和锁紧件固定研磨棒，方便更换拆卸，损坏时更换相应研磨棒，节约资源降低成本且更加环保；同时研磨产生的粉屑易导出，不易损坏晶圆；通过研磨盘上设置的多组散热腔和环形固定件上的交换腔连通，在通过抽气机、连接管和出气头将研磨棒产生的热量进行吸除，提高了散热效果。

(二)技术方案

本实用新型提供了一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，包括研磨盘、固定环、研磨棒、环形固定件、进气头、出气头、连接管、抽气机、推盘、电机、连接键、限位滑块和锁紧件；

研磨盘上设有散热槽和散热腔，且散热腔和散热槽连通；研磨棒滑动设置在研磨盘上并位于散热槽内，且研磨棒伸出研磨盘的底端；固定环滑动设置在研磨盘上并抵住研磨棒，且固定环通过锁紧件与研磨盘固定；

环形固定件上设有限位环，研磨盘滑动设置在环形固定件上并与限位环相贴；环形固定件上设有交换腔，进气头和出气头设置在环形固定件上并与交换腔连通，且出气头通过连接管与抽气机连通；限位滑块设置在推盘上并与环形固定件滑动连接，电机设置在推盘的底部，且电机通过连接键与研磨盘连接。

优选的，研磨棒包括限位凸台和主体棒，研磨盘上的散热槽的直径大于主体棒的直径。

优选的，研磨盘上设有多组散热腔，且多组散热腔沿着研磨盘的轴心环形阵列分布。

优选的，限位环上设有多组滚珠，且多组滚珠环形阵列在限位环上。

优选的，进气头和出气头与研磨盘均为螺纹可拆卸连接，进气头的数目为多组，且进气头上设有过滤网。

优选的，研磨盘上设有环形槽，且环形槽与散热腔连通。

优选的，散热腔的内壁上设有石墨烯导热层。

优选的，还包括气缸；气缸通过支架设置在环形固定件的上方，且气缸的伸缩杆与推盘连接。