[实用新型]一种光刻胶回收系统

权利要求书

1.一种光刻胶回收系统，其特征在于，包括气源、光刻胶存储容器、第一管道、气泡排除单元、缓冲回收容器、回收管道和排出管道，

所述气源与所述光刻胶存储容器的顶部连通，并用于将所述光刻胶存储容器中的光刻胶压入所述第一管道中；

所述光刻胶存储容器通过所述第一管道与所述气泡排除单元连通；

所述气泡排除单元包括气泡排除管道，所述气泡排除管道用于排出光刻胶中的气泡；

按流体流动方向，所述气泡排除管道的末端与所述缓冲回收容器的顶部连通；

所述气源与所述缓冲回收容器的顶部连通，所述排出管道的一端与所述缓冲回收容器的顶部连通，另一端用于排出所述缓冲回收容器中的气泡；

所述缓冲回收容器的底部通过所述回收管道与所述光刻胶存储容器的顶部连通。

2.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述气源通过第一进气管道与所述光刻胶存储容器连通，所述第一进气管道上设置有第一阀门。

3.根据权利要求2所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述排出管道上设置有第二阀门，所述第二阀门与所述第一阀门同步开启或关闭。

4.根据权利要求3所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述第一阀门与所述第二阀门为气动阀。

5.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述气源通过第二进气管道与所述缓冲回收容器连通，所述第二进气管道上设置有第三阀门。

6.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述回收管道上设置有第四阀门。

7.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述第一管道伸入所述光刻胶存储容器内与所述光刻胶存储容器的底部连通。

8.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述气源为氮气气源。

9.根据权利要求1所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述气泡排除单元包括消耗侦测容器、气泡收集容器、过滤器、第二管道、第三管道、第一排气支路、第二排气支路和第三排气支路；

所述第一管道的两端分别与所述光刻胶存储容器和所述消耗侦测容器连通；所述第二管道的两端分别与所述消耗侦测容器和所述气泡收集容器连通；所述第三管道的两端分别与所述气泡收集容器和所述过滤器连通，所述过滤器用于与一电机驱动泵连通；

所述消耗侦测容器通过所述第一排气支路与所述气泡排除管道连通；

所述气泡收集容器通过所述第二排气支路与所述气泡排除管道连通；

所述过滤器通过所述第三排气支路与所述气泡排除管道连通。

10.根据权利要求9所述的光刻胶回收系统，其特征在于，所述第一管道、所述第二管道和/或第三管道上设置有气泡侦测传感器；

所述第一排气支路、第二排气支路和/或第三排气支路上设置有阀门。