[实用新型]一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构

权利要求书

1.一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于，包括运输装置(9)、定量位移装置和输送装置(3)；

所述输送装置(3)的一端固定有第一伺服电机(10)，所述第一伺服电机(10)的输出端和输送装置(3)固定连接；

所述定量位移装置包括固定板(2)和限位块(1)，所述固定板(2)固定在输送装置(3)的一侧，所述限位块(1)等距固定在固定板(2)的上端，所述固定板(2)的一端固定有第二伺服电机(11)，所述第二伺服电机(11)的输出端固定有转动架(4)，所述转动架(4)的另一端转动连接有连接板(5)，所述连接板(5)的上端固定有卡槽板(6)，所述连接板(5)的另一侧转动连接有从动架(12)，所述从动架(12)的一端和固定板(2)固定连接，所述固定板(2)的一端固定有固定架(8)，所述固定架(8)的上端固定有挡板(7)，所述运输装置(9)设置在固定架(8)的一侧，所述第一伺服电机(10)、第二伺服电机(11)均分别通过接线与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于：所述挡板(7)的外壁均为光滑壁，所述固定架(8)的上端外壁和固定板(2)的上端外壁处于同一水平面。

3.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于：所述卡槽板(6)共设置有四组，四组所述卡槽板(6)等距固定在连接板(5)的上端。

4.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于：所述连接板(5)的上端外壁转动到和固定板(2)上端外壁在同一水平面时，所述卡槽板(6)的水平位置位于两个限位块(1)内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于：所述限位块(1)的上端为倒角圆弧状。

6.根据权利要求1所述的一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，其特征在于：所述输送装置(3)和运输装置(9)的表面采用摩擦力较大的材质。