[实用新型]一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构

说明书

本实用新型公开一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括运输装置、定量位移装置和输送装置，所述输送装置的一端固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端和输送装置固定连接，所述定量位移装置包括固定板和限位块，所述固定板固定在输送装置的一侧，所述限位块等距固定在固定板的上端，所述固定板的一端固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定有转动架，本实用新型采用定量位移装置用于控制石墨舟在传送过程中停止，添加石墨后重新进行运输，通过定量位移装置能够控制石墨舟以相同的间距和间隔时间移动，这样机械手在进行添加石墨时能够更方便，能够有效加快设备内部石墨在石墨舟的添加和运输。

技术领域

本实用新型属于光伏行业生产设备相关技术领域，具体涉及一种用于 PECVD设备内的石墨舟传送机构。

背景技术

石墨舟是由于运输石墨加工的载体，在PECVD设备内部通过传送机构运输石墨舟装在石墨进行加工，石墨舟传送机构在使用时，需要在传送的途中对石墨舟通过机械手添加石墨，这就使得在运输途中需要间歇控制添加石墨，而现有的传送机构控制移动不够方便，为了解决上述问题，我们提出了一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，以解决上述背景技术中提出的传送机构对石墨添加的移动效果不够好使用起来不够方便问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括运输装置、定量位移装置和输送装置；

所述输送装置的一端固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端和输送装置固定连接；

所述定量位移装置包括固定板和限位块，所述固定板固定在输送装置的一侧，所述限位块等距固定在固定板的上端，所述固定板的一端固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定有转动架，所述转动架的另一端转动连接有连接板，所述连接板的上端固定有卡槽板，所述连接板的另一侧转动连接有从动架，所述从动架的一端和固定板固定连接，所述固定板的一端固定有固定架，所述固定架的上端固定有挡板，所述运输装置设置在固定架的一侧，所述第一伺服电机、第二伺服电机均分别通过接线与外部电源电性连接。

优选的，所述挡板的外壁均为光滑壁，所述固定架的上端外壁和固定板的上端外壁处于同一水平面。

优选的，所述卡槽板共设置有四组，四组所述卡槽板等距固定在连接板的上端。

优选的，所述连接板的上端外壁转动到和固定板上端外壁在同一水平面时，所述卡槽板的水平位置位于两个限位块内侧。

优选的，所述限位块的上端为倒角圆弧状。

优选的，所述输送装置和运输装置的表面采用摩擦力较大的材质。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，具备以下有益效果：

一、本实用新型采用定量位移装置用于控制石墨舟在传送过程中停止，添加石墨后重新进行运输，通过定量位移装置能够控制石墨舟以相同的间距和间隔时间移动，这样机械手在进行添加石墨时能够更方便，能够有效加快设备内部石墨在石墨舟的添加和运输。

二、本实用新型采用转动架的周期转动带动连接板上下移动，使得连接板通过顶部的卡槽板间歇和石墨舟接触，并将石墨舟位移一端距离，这样机械手在往石墨舟内部添加石墨时，可以分批次进行，因为石墨舟可以在固定板的限位块内部周期运动两次，使得石墨舟有两次添加石墨的机会，这样石墨添加时能够更加方便。

三、本实用新型采用固定架，能够将运输的石墨舟堆存在固定架上固定，这样能够保证石墨舟在进行添加石墨时存量足够，保证工作效率。

附图说明