[实用新型]一种芯片加工用单晶炉有效
申请号: | 202120788639.6 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN215887319U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 胡天武 | 申请(专利权)人: | 绍兴宇力半导体有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 绍兴融创专利代理事务所(普通合伙) 33396 | 代理人: | 张驰骋 |
地址: | 312000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 工用 单晶炉 | ||
本实用新型公开了一种芯片加工用单晶炉,包括单晶炉本体,单晶炉本体上滑动设置有滑动块,单晶炉本体上固定有第一电动推杆且其输出轴与滑动块固定配合,第一电动推杆输出轴伸出时可驱动滑动块移动,滑动块上滑动设置有夹持机械手,滑动块内固定有第二电动推杆且其输出轴与夹持机械手固定配合,第二电动推杆输出轴伸出时可驱动夹持机械手移动,单晶炉本体上固定有支撑框,支撑框上贯穿固定有风机,风机可传输外界气流对单晶进行冷却,可以对单晶进行冷却。
技术领域
本实用新型涉及芯片加工设备技术领域,特别涉及一种芯片加工用单晶炉。
背景技术
芯片组是一组共同工作的集成电路“芯片”,并作为一个产品销售。它负责将计算机的核心——微处理器和机器的其它部分相连接,是决定主板级别的重要部件。以往,芯片组由多颗芯片组成,慢慢的简化为两颗芯片。
现有的单晶炉在对单晶加工完成后,由于单晶加工完成后单晶上会出现高温的现象,人员在拿取单晶时,会导致人员烫伤。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种芯片加工用单晶炉,可以对单晶进行冷却。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种芯片加工用单晶炉,包括单晶炉本体,其特征在于,所述单晶炉本体上滑动设置有滑动块,所述单晶炉本体上固定有第一电动推杆且其输出轴与滑动块固定配合,所述第一电动推杆输出轴伸出时可驱动滑动块移动,所述滑动块上滑动设置有夹持机械手,所述滑动块内固定有第二电动推杆且其输出轴与夹持机械手固定配合,所述第二电动推杆输出轴伸出时可驱动夹持机械手移动,所述单晶炉本体上固定有支撑框,所述支撑框上贯穿固定有风机,所述风机可传输外界气流对单晶进行冷却。
作为优选,所述支撑框内滑动设置有定位板,所述定位板上旋转设置有旋转轮,拖动所述定位板可带动单晶移动到外界。
作为优选,所述支撑框的内壁上固定有温度感应器,所述单晶炉本体上固定有控制面板,所述温度感应器与控制面板电性连接,所述温度感应器感应到单晶温度可传输温度信号给控制面板。
作为优选,所述单晶炉本体的底部固定有支撑脚。
附图说明
图1为实施例的结构示意图;
图2为实施例温度感应器的示意图。
附图标记:1、单晶炉本体;2、滑动块;3、第一电动推杆;4、夹持机械手;5、第二电动推杆;6、支撑框;7、风机;8、定位板;9、旋转轮;10、温度感应器;11、控制面板;12、支撑脚。
具体实施方式
以下所述仅是本实用新型的优选实施方式,保护范围并不仅局限于该实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案应当属于本实用新型的保护范围。同时应当指出,对于本技术领域的普通技术人员而言,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
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