[实用新型]一种新型CTR纠偏装置

权利要求书

1.一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，包括设置在硅片(2)印刷烘干产线上的印刷纠偏机构和烘箱缓存纠偏结构，印刷纠偏机构和烘箱缓存纠偏机构均为多点定位机构。

2.根据权利要求1所述一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，所述印刷纠偏机构为六点定位机构，烘箱缓存纠偏机构为五点定位机构。

3.根据权利要求2所述一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，印刷纠偏机构和烘箱缓存纠偏机构均包括对称设置在硅片(2)传输方向两侧的纠偏组件一(1)和纠偏组件二(3)，硅片(2)限位在纠偏组件一(1)和纠偏组件二(3)之间，纠偏组件一(1)和纠偏组件二(3)均包括与传输方向平行的夹持安装架(1-3)。

4.根据权利要求2所述一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，印刷纠偏机构的纠偏组件一(1)和纠偏组件二(3)的夹持安装架(1-3)下方均设置有3个结构相同的夹持轮组件，位于同一侧的夹持轮组件的转动轴在同一竖直平面内，且该竖直平面与传输方向平行。

5.根据权利要求3所述一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，烘箱缓存纠偏机构的纠偏组件一(1)的夹持安装架(1-3)下方设置有3个结构相同的夹持轮组件，烘箱缓存纠偏机构的纠偏组件二(3)的夹持安装架(1-3)下方设置有2个结构相同的夹持轮组件，位于同一侧的夹持轮组件的转动轴在同一竖直平面内，且该竖直平面与传输方向平行。

6.根据权利要求4或5所述的一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，每个夹持轮组件均包括转动设置在对应夹持安装架(1-3)下方的夹持轮轴(1-2)和套设在夹持轮轴(1-2)末端的矫正轮(1-1)，每个矫正轮(1-1)外均套设有夹持轮套。

7.根据权利要求4或5所述的一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，所述纠偏组件一(1)和纠偏组件二(3)的夹持安装架(1-3)上均设置有用于安装对应夹持轮组件的竖直安装孔(1-4)。

8.根据权利要求3所述的一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，每个夹持安装架(1-3)上均设置有多个安装座(1-5)，每个安装座(1-5)上均设置有用于安装对应夹持安装架(1-3)的水平安装孔。

9.根据权利要求8所述的一种新型CTR纠偏装置，其特征在于，每个夹持安装架(1-3)上的安装座(1-5)数量均为2个，且分布在各自夹持安装架(1-3)的两端。