[实用新型]一种探针卡探针研磨装置

权利要求书

1.一种探针卡探针研磨装置，其包括基座、布置于所述基座的固定机构、升降机构、水平移动机构、研磨台，所述固定机构用于固定探针卡，所述升降机构包括升降台、驱动所述升降台升降的第一电机，所述水平移动机构包括移动台、驱动所述移动台移动的第二电机，所述水平移动机构固定于所述升降台，所述研磨台固定于所述移动台，所述研磨台用于对所述探针卡上的探针进行研磨，其特征在于，所述升降机构的一侧布置有位移传感器，所述位移传感器、第一电机、第二电机均与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡探针研磨装置，其特征在于，所述固定机构包括固定座、分布于所述固定座顶端的固定板，所述固定板的一端通过螺栓与所述固定座固定，所述固定板的另一端与所述探针卡的边缘对应，所述固定座的中部开有第一通孔，所述第一通孔与所述探针卡的探针对应。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡探针研磨装置，其特征在于，所述固定座的顶端开有探针卡放置槽，所述探针卡放置槽的内部底端开有两排平行分布的螺纹孔，每排包括至少两个所述螺纹孔，且每排所述螺纹孔均匀间隔分布。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡探针研磨装置，其特征在于，所述固定机构通过支架固定于所述基座的顶端，所述支架包括支撑杆、固定于所述支撑杆顶端的支撑座，所述固定座的底端与所述支撑座固定，所述支撑座的中部开有与所述第一通孔对应的第二通孔，所述研磨台位于所述第二通孔的正下方。

5.根据权利要求4所述的一种探针卡探针研磨装置，其特征在于，所述支撑杆为分段式结构，所述支撑杆包括第一支撑杆、第二支撑杆，所述第一支撑杆、第二支撑杆通过连接杆连接，所述第一支撑杆的一端与所述基座固定，另一端通过连接杆与所述第二支撑杆的一端连接，所述连接杆的两端与所述第一支撑杆、第二支撑杆均为螺纹连接，所述第二支撑杆的另一端与所述固定座的底端固定。

6.根据权利要求5所述的一种探针卡探针研磨装置，其特征在于，所述研磨台的顶端贴装有砂纸。