[实用新型]一种探针卡探针研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种探针卡探针研磨装置，其可实现探针卡探针的自动研磨，可提高研磨效率，同时可对探针卡针尖的研磨长度进行控制，可提高成品质量，其包括基座、布置于基座的固定机构、升降机构、水平移动机构、研磨台，固定机构用于固定探针卡，升降机构包括升降台、驱动升降台升降的第一电机，水平移动机构包括移动台、驱动移动台移动的第二电机，水平移动机构固定于升降台，研磨台固定于移动台，研磨台用于对探针卡上的探针进行研磨，升降机构的一侧布置有位移传感器，位移传感器、第一电机、第二电机均与控制器电连接。

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域，具体为一种探针卡探针研磨装置。

背景技术

探针卡是一种连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试的测试接口，探针卡生产加工过程中，由于初始加工完成的探针针尖尖锐，与半导体晶片接触安装时，易导致虚接或接触不良等问题，因此需对探针针尖进行消磨，将针尖磨平，以便于增大针尖与半导体晶片的接触面积。现有技术中常用的探针研磨装置为探针研磨机，例如专利号为2008201357942，专利名称为一种探针研磨装置的专利，其通过手动扳动杆升降固定于载台上的探针座，在水平方向用砂纸对探针的针尖进行研磨，这种手动扳动探针座的研磨方式费事费力，严重影响了研磨效率，而且存在探针针尖研磨不充足，或研磨过度等问题，导致最终获得的探针卡成品质量不合格。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种探针卡探针研磨装置，其可实现探针卡探针的自动研磨，可提高研磨效率，同时可对探针卡针尖的研磨长度进行控制，可提高成品质量。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种探针卡探针研磨装置，其包括基座、布置于所述基座的固定机构、升降机构、水平移动机构、研磨台，所述固定机构用于固定探针卡，所述升降机构包括升降台、驱动所述升降台升降的第一电机，所述水平移动机构包括移动台、驱动所述移动台移动的第二电机，所述水平移动机构固定于所述升降台，所述研磨台固定于所述移动台，所述研磨台用于对所述探针卡上的探针进行研磨，其特征在于，所述升降机构的一侧布置有位移传感器，所述位移传感器、第一电机、第二电机均与控制器电连接。

其进一步特征在于，

所述固定机构包括固定座、分布于所述固定座顶端的固定板，所述固定板的一端通过螺栓与所述固定座固定，所述固定板的另一端与所述探针卡的边缘对应，所述固定座的中部开有第一通孔，所述第一通孔与所述探针卡的探针对应；

所述固定板包括四个，四个所述固定板呈矩形分布；

所述固定座的顶端开有探针卡放置槽，所述探针卡放置槽的内部底端开有两排平行分布的螺纹孔，每排包括至少两个所述螺纹孔，且每排所述螺纹孔均匀间隔分布；

所述固定机构通过支架固定于所述基座的顶端，所述支架包括支撑杆、固定于所述支撑杆顶端的支撑座，所述固定座的底端与所述支撑座固定，所述支撑座的中部开有与所述第一通孔对应的第二通孔，所述研磨台位于所述第二通孔的正下方；

所述支撑杆为分段式结构；

所述支撑杆包括第一支撑杆、第二支撑杆，所述第一支撑杆、第二支撑杆通过连接杆连接，所述第一支撑杆的一端与所述基座固定，另一端通过连接杆与所述第二支撑杆的一端连接，所述连接杆的两端与所述第一支撑杆、第二支撑杆均为螺纹连接，所述第二支撑杆的另一端与所述固定座的底端固定；

所述研磨台的顶端贴装有砂纸；

所述固定机构的一侧安装有显微镜支架，显微镜通过所述显微镜支架固定于所述基座。