[实用新型]一种靶材背板有效
| 申请号： | 202120797891.3 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN215103499U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈琛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 背板 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材背板，其特征在于，所述靶材背板包括背板本体；
所述背板本体上设置有沉孔；
所述靶材背板还包括与所述沉孔相适配的绝缘支撑柱；
所述绝缘支撑柱的高度高于沉孔的深度。
2.根据权利要求1所述的靶材背板，其特征在于，所述沉孔包括连接的宽部孔和窄部孔，所述宽部孔和窄部孔的中心线重叠。
3.根据权利要求2所述的靶材背板，其特征在于，所述宽部孔和窄部孔为圆柱形。
4.根据权利要求3所述的靶材背板，其特征在于，所述宽部孔的直径与窄部孔的直径之比为1.1～1.5:1。
5.根据权利要求1～4任一项所述的靶材背板，其特征在于，所述绝缘支撑柱与沉孔的配合间隙为0.01～0.05mm。
6.根据权利要求2所述的靶材背板，其特征在于，所述绝缘支撑柱的高度比沉孔的深度高0.1～20mm。
7.根据权利要求6所述的靶材背板，其特征在于，所述绝缘支撑柱包括一体连接的宽部柱和窄部柱，所述宽部柱的高度比宽部孔的深度高0.1～20mm。
8.根据权利要求7所述的靶材背板，其特征在于，所述窄部柱的中心设置有凹槽。
9.根据权利要求8所述的靶材背板，其特征在于，所述凹槽的深度占窄部柱的高度的0.2～0.6倍。
10.根据权利要求2所述的靶材背板，其特征在于，所述沉孔的中心线距背板本体边缘的距离为宽部孔直径的0.6～2倍。
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