[实用新型]一种新型的扩散炉进炉舟架有效
| 申请号： | 202120810086.X | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214937971U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张婷婷;范晓波;何杉 | 申请（专利权）人： | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;C30B29/06;H01L21/673 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扩散 炉进炉舟架 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型的扩散炉进炉舟架，包括支脚(4)、挡板(1)、舟槽a(2)，舟槽b(3)，其特征在于：所述支脚(4)中部左右两端各设有一个凹槽，所述支脚(4)两端向下凸起高于中部，所述两支脚(4)平行设置，中间通过舟槽a(2)与舟槽b(3)连接，所述舟槽a(2)与舟槽b(3)处于同一平面并且为镜面对称关系，所述两支脚(4)顶部各设有一块挡板(1)。
2.如权利要求1所述的一种新型的扩散炉进炉舟架，其特征在于：所述舟槽a(2)与舟槽b(3)顶部内侧外侧两端各设有一个倒角，所述舟槽a(2)与舟槽b(3)内侧倒角上设有锯齿状槽。
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