[实用新型]一种铜制程用剥离液的高效制备装置

权利要求书

1.一种铜制程用剥离液的高效制备装置，包括分别与混合罐（1）进口连接的醇醚储罐（2）、有机溶剂储罐（3）、缓蚀剂储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、去离子水储罐（6）和顺次连接的混合罐（1）、调节阀（7）、过滤装置（8）和成品罐（9），其特征在于：所述混合罐（1）的内壁上设置有环形凸起（11），所述环形凸起（11）上设置有导流盘（12），所述导流盘（12）的底面直径大于环形凸起（11）之间的内径，所述导流盘（12）的中心位置为圆锥凸起，所述导流盘（12）的边侧为向内带有坡度的导流环，圆锥凸起的外侧与导流环的内侧之间间隔形成导流通道（13），所述导流通道（13）的底面连通导流管（14），所述导流管（14）的内径从上到下逐渐减小，所述导流管（14）的管壁上均匀的设置有多个孔洞；

所述混合罐（1）内还设置有搅拌装置，所述搅拌装置包括电机和搅拌轴，所述电机设置在混合罐（1）的顶部，所述搅拌轴贯穿混合罐（1）的顶部以及导流盘（12）的中心与电机连接，所述搅拌轴底部设置有横向搅拌棍，所述横向搅拌棍的端部设置有竖向搅拌棍，所述横向搅拌棍位于导流管（14）的下方，且竖向搅拌棍位于导流管（14）的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述导流管（14）至少设置有三个，每个导流管（14）均匀的设置在导流通道（13）的下方。

3.根据权利要求2所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述导流环的坡度为30°至45°。

4.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述横向搅拌棍和竖向搅拌棍均为导热搅拌棍。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述混合罐（1）和成品罐（9）的内壁均为聚四氟乙烯层。