[实用新型]一种半导体设备L型真空阀门

权利要求书

1.一种半导体设备L型真空阀门，包括阀板(1)、运动件(9)和运动导轨件(11)，其特征在于：所述阀板(1)与阀杆(2)连接，阀杆(2)穿过安装板(3)，安装板(3)中间设置有通孔，通孔用来安装阀杆(2)，阀杆(2)与运动件(9)连接，阀杆(2)底部与底板(7)之间安装有弹簧(13)；

所述安装板(3)内部设置有两条独立完整的气路，安装板(3)的下部安装着第一气缸(4)和第二气缸(10)，第一气缸(4)上设置有第一通气口(5)和第二通气口(6)，两个气缸的气路通过安装板内部的两条气路连接贯通，两个气缸的内侧都设置有机械限位气缸(4.1)，机械限位气缸(4.1)设置有第一活塞端(4.11)和第二活塞端(4.12)；

所述第一气缸(4)和第二气缸(10)的活塞杆(4.2)连接着底板(7)，底板(7)与两个运动导轨件(11)连接，运动导轨件(11)侧面设置有第一导轨槽(11.1)，第一导轨槽(11.1)与机械限位气缸(4.1)配合实现限位，运动导轨件(11)另一面设置有第一弧形槽(11.21)和第二弧形槽(11.22)，运动件(9)两边侧面都设置有第一固定件(9.1)和第二固定件(9.2)，两个固定件与两个弧形槽配合。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述底板(7)的中部设置有凹槽(8)，阀杆(2)的底部设置有凸台(12)，凸台(12)与凹槽(8)位置对应，凸台(12)与凹槽(8)之间安装有弹簧(13)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述阀板(1)和安装板(3)上设置有密封槽，密封槽安装有密封圈，密封槽旁设置有放气槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述运动件(9)的顶端设置有滚轮，滚轮的个数有两个，嵌入式安装。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述第一通气口(5)和第二通气口(6)通过气管连接着进气源，所述第一气缸(4)和第二气缸(10)的内部都设置有两条独立完整的气路。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述机械限位气缸(4.1)为单作用弹簧复位气缸，机械限位气缸(4.1)的通气口连接着第一气缸(4)和第二气缸(10)的内部气路，机械限位气缸(4.1)的出气口设置在出气孔中。

7.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述第一导轨槽(11.1)上设置有关闭限位孔(11.11)和打开限位孔(11.12)，两个限位孔与机械限位气缸(4.1)的两个活塞杆端配合实现机械限位。

8.根据权利要求1所述的一种半导体设备L型真空阀门，其特征在于：所述第一固定件(9.1)与第一弧形槽(11.21)配合，第二固定件(9.2)与第二弧形槽(11.22)配合，实现运动件(9)的限位和偏转。