[实用新型]一种分子泵防护网及具有其的分子泵有效
| 申请号： | 202120819255.6 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214617240U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈林;邓高飞;何通 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/70 | 分类号： | F04D29/70;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 637000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 防护 具有 | ||
1.一种分子泵防护网，其特征在于，包括：
网本体(1)，具有适于安装在分子泵泵壳(5)上的连接部；
锥形件(2)，所述锥形件(2)的底边与所述网本体(1)固定连接，所述网本体(1)围绕在所述锥形件(2)的四周，且所述锥形件(2)的轴线与所述网本体(1)垂直设置。
2.根据权利要求1所述的分子泵防护网，其特征在于，所述锥形件(2)远离所述网本体(1)的一端为流线型、半球型或圆锥型。
3.根据权利要求2所述的分子泵防护网，其特征在于，所述锥形件(2)为空心圆锥体，所述锥形件(2)的锥角不大于90°。
4.根据权利要求1至3任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，所述网本体(1)的网孔形状为六边形。
5.根据权利要求1至3任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，所述锥形件(2)为空心结构件。
6.根据权利要求1至3任一项所述的分子泵防护网，其特征在于，所述连接部为围绕在所述网本体(1)四周设置的边板(3)，所述边板(3)与所述网本体(1)平行设置。
7.根据权利要求6所述的分子泵防护网，其特征在于，所述边板(3)上间隔设有多个连接通孔(4)。
8.一种分子泵，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的分子泵防护网。
9.根据权利要求8所述的分子泵，其特征在于，还包括转动主轴和泵壳(5)，所述网本体(1)安装在所述泵壳(5)上，所述转动主轴的轴线与所述锥形件(2)的轴线重合，且所述锥形件(2)的底面的直径与所述转动主轴的直径相等。
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