[实用新型]一种分子泵防护网及具有其的分子泵

说明书

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵防护网及具有其的分子泵。分子泵防护网，包括：网本体，具有适于安装在分子泵泵壳上的连接部；锥形件，锥形件的底边与网本体固定连接，网本体围绕在锥形件的四周，且锥形件的轴线与网本体垂直设置。开启分子泵，分子泵运行开始抽气，气体在经过分子泵入口时，会与锥形件发生碰撞并改变气体的流动路径，使得抽取到无效区域的气体能够流动至有效区域并进入到分子泵内。通过锥形件的碰撞，将无效区域的气体碰撞到会影响分子泵抽速的有效区域，进而增加有效区域的气体量，从而减小分子泵在安装防护网后的抽速损失，提高分子泵在安装防护网后的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵防护网及具有其的分子泵。

背景技术

分子泵在工作前，通常会在泵口安装防护网，以防止异物落入泵内，损伤泵内高速旋转的涡轮叶片及静片组件。在安装防护网后，虽然可以有效的防止异物损伤分子泵内的零部件，但是由于防护网的筋面占据了分子泵入口的有效空间，会造成分子泵的抽速降低，导致分子泵能够抽取到的最大真空度所需时间增加，使得分子泵的工作效率降低，严重影响分子泵的抽气效果。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵在安装分子泵防护网后抽速会大大降低的缺陷，从而提供一种分子泵防护网及具有其的分子泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种分子泵防护网，包括：

网本体，具有适于安装在分子泵泵壳上的连接部；

锥形件，锥形件的底边与网本体固定连接，网本体围绕在锥形件的四周，且锥形件的轴线与网本体垂直设置。

可选地，锥形件远离网本体的一端为流线型、半球型或圆锥型。

可选地，锥形件为空心圆锥体，锥形件的锥角不大于90°。

可选地，网本体的网孔形状为六边形。

可选地，锥形件为空心结构件。

可选地，连接部为围绕在网本体四周设置的边板，边板与网本体平行设置。

可选地，边板上间隔设有多个连接通孔。

本实用新型还提供一种分子泵，包括本实用新型提供的所述分子泵防护网。

可选地，还包括转动主轴和泵壳，网本体安装在泵壳上，转动主轴的轴线与锥形件的轴线重合，且锥形件的底面的直径与转动主轴的直径相等。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的分子泵防护网，包括：网本体，具有适于安装在分子泵泵壳上的连接部；锥形件，锥形件的底边与网本体固定连接，网本体围绕在锥形件的四周，且锥形件的轴线与网本体垂直设置。分子泵在运行时，由于分子泵内部转动主轴会将分子泵的入口部分阻挡，气体在被抽取到转动主轴正对的分子泵入口区域时会被转动主轴阻挡而无法进入到分子泵内，该区域属于抽气的无效区域，分子泵的泵壳与转动主轴之间的环形区域为抽气的有效区域。在分子泵运行前，将网本体安装到分子泵的泵壳的入口处，使得锥形件的底部与分子泵的转动主轴对齐，开启分子泵，分子泵运行开始抽气，气体在经过分子泵入口时，会与锥形件发生碰撞并改变气体的流动路径，使得抽取到无效区域的气体能够流动至有效区域并进入到分子泵内。通过锥形件的碰撞，将无效区域的气体碰撞到会影响分子泵抽速的有效区域，进而增加有效区域的气体量，从而减小分子泵在安装防护网后的抽速损失，提高分子泵在安装防护网后的工作效率。

2.本实用新型提供的分子泵防护网，锥形件为空心圆锥体，锥形件的锥角不大于90°。在锥形件底面大小确定的情况下，使锥形件与网本体之间保持较大的倾斜角度，减少空气与锥形件碰撞后向反方向运动的几率，尽可能使大多数气体能够进入到有效区域，以提高分子泵的工作效率。

附图说明