[实用新型]一种大功率微波等离子废气处理装置

权利要求书

1.一种大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，包括：

支撑架（5），其上端安装有尾气燃烧室（10）；

所述尾气燃烧室（10）的下部从上往下依次布置有尾气进气管（9）、等离子作用腔（8）、冷却及送风装置（7）以及自动点火装置（6）；

微波能发生器（1）产生的微波能经微波能传输系统（2）、功率检测模块（3）以及自动阻抗调配模块（4）后，在所述等离子作用腔（8）内形成高场强；

温度检测模块，安装在尾气进气管（9）及尾气燃烧室（10）上，用于检测整个系统的温度；

控制模块，与所述自动点火装置（6）、微波能发生器（1）以及温度检测模块信号连接。

2.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述自动点火装置包括点火支架、气缸和点火探针，其中，所述点火支架上固定所述气缸，气缸的活塞杆和点火探针连接，所述气缸与所述控制模块信号连接。

3.根据权利要求2所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述点火探针材质为不锈钢，探针末端为锥形。

4.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述的冷却及送风装置（7）包括石英玻璃管、上水冷套组合、下水冷套组合、吹气结构以及O型圈，其中，上水冷套组合和下水冷套组合均安装在所述等离子作用腔上，石英玻璃管通过O型圈固定在下水冷套组合内，并穿过等离子作用腔及上水冷套组合；

吹气结构采用螺栓安装在下水冷套组合的下部，吹气结构的介质气孔为环状均匀分布，并向等离子体炬口倾斜，使介质气体在石英玻璃中心形成旋流，螺旋上升不接触石英玻璃管内壁，将激发气体聚集到石英玻璃中心。

5.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述的等离子作用腔（8）上设置有吹气口，用于对等离子作用腔内部进行开机前的清扫。

6.根据权利要求4所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述尾气进气管的管壁上设有4个进气支路，4个进气支路沿切向设置在尾气进气管上，并下倾10°；4个进气支路两两相对设置；

尾气进气管采用双头螺柱安装在所述上水冷套组合上，尾气进气管上部穿入所述尾气燃烧室（10），与尾气燃烧室（10）滑动配合。

7.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述微波能传输系统包括三端环形器、水负载及直波导E面波导，各个部件通过法兰连接，微波能传输系统一端与微波能发生系统连接，另一端与功率检测模块连接。

8.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述功率检测模块包括双定向耦合器，检测入射及反射功率，功率检测模块一端与微波能传输系统连接，另一端与自动阻抗调配模块连接。

9.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述的自动阻抗调配模块一端与功率检测模块连接，另一端与等离子作用腔连接。

10.根据权利要求1所述的大功率微波等离子废气处理装置，其特征在于，所述的尾气燃烧室包括燃烧室壳体、蓄热体、隔温层以及锥形帽，其中，燃烧室壳体内放置隔温层，隔温层内放置蓄热体，锥形筒安装在燃烧室壳体上。