[实用新型]一种大功率微波等离子废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种大功率微波等离子废气处理装置，包括：支撑架，其上端安装有尾气燃烧室；所述尾气燃烧室的下部从上往下依次布置有尾气进气管、等离子作用腔、冷却及送风装置以及自动点火装置；微波能发生器产生的微波能经微波传输系统、功率检测模块以及自动阻抗调配模块后，在所述等离子作用腔内形成高场强；温度检测模块，安装在尾气进气管及尾气燃烧室上，用于检测整个系统的温度；控制模块，与所述自动点火装置和温度检测模块信号连接。

技术领域

本实用新型涉及微波能应用技术领域，具体是一种大功率微波等离子废气处理装置。

背景技术

近年来，环境污染问题越来越严重，尤其是大气污染越来越严峻。化学工业生产排放的废气，如半导体行业的全氟化物气体，在大气中具有强烈的红外吸收能力，CF4吸收红外的能力是CO2的5700倍，因此会加重温室效应，使全球平均温度升高，成为气候异常的主要原因；其次，煤炉燃烧产生的烟气，包含硫化物和氮氧化物，刺激人呼吸系统，损害人的身体健康，而且还会产生酸雨，破坏地球生态环境，造成光化学污染等等。

化学工业中产生的废气通常包含氮氧化物、硫化物、有机物、粉尘等污染物，若要实现达标排放，则需进行尾气处理，否则会加重温室效应，使全球平均温度升高，成为气候异常的主要原因；其次，包含硫化物和氮氧化物，刺激人呼吸系统，损害人的身体健康，而且还会产生酸雨，破坏地球生态环境，造成光化学污染等等。

传统的废气处理工艺包括脱硫、脱销、除尘等，若要对废气中的有机物进行处理，通常需要使用燃烧炉对其进行高温裂解，由于裂解温度较高，造成燃烧炉所需的能耗较大。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型公开了一种大功率微波等离子废气处理装置，可以在燃烧法的基础上通过微波等离子体进行强化燃烧，无需辅助燃料，能够产生大量高能电子以及活性离子，从相对于废气构成热平衡等离子体，这样，就会造成C- C和C- H 等化学键的断裂，从而实现与废气中F、H 和CI 等原子的置换，进而得到对大气无害的水和CO2，具有流程短、操作简便的特点，且具有较好的节能性。

为了实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种大功率微波等离子废气处理装置，包括：

支撑架，其上端安装有尾气燃烧室；

所述尾气燃烧室的下部从上往下依次布置有尾气进气管、等离子作用腔、冷却及送风装置以及自动点火装置；

微波能发生器产生的微波能经微波传输系统、功率检测模块以及自动阻抗调配模块后，在所述等离子作用腔内形成高场强；

温度检测模块，安装在尾气进气管及尾气燃烧室上，用于检测整个系统的温度；

控制模块，与所述自动点火装置、微波能发生器以及温度检测模块信号连接。

所述自动点火装置包括点火支架、气缸和点火探针，其中，所述点火支架上固定所述气缸，气缸的活塞杆和点火探针连接，所述气缸与所述控制模块信号连接。

所述点火探针材质为不锈钢，探针末端为锥形。

所述的冷却及送风装置包括石英玻璃管、上水冷套组合、下水冷套组合、吹气结构以及O型圈，其中，上水冷套组合和下水冷套组合均安装在所述等离子作用腔上，石英玻璃管通过O型圈固定在下水冷套组合内，并穿过等离子作用腔及上水冷套组合；

吹气结构采用螺栓安装在下水冷套组合的下部，吹气结构的介质气孔为环状均匀分布，并向等离子体炬口倾斜，使介质气体在石英玻璃中心形成旋流，螺旋上升不接触石英玻璃管内壁，将激发气体聚集到石英玻璃中心。

所述的等离子作用腔上设置有吹气口，用于对等离子作用腔内部进行开机前的清扫。