[实用新型]一种连续式真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202120825530.5 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN215757592U 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 韩秀全;李军明 申请(专利权)人: 青岛德耐纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 山东重诺律师事务所 37228 代理人: 任启明
地址: 266000 山东省青岛市高新区新*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 连续 真空镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种连续式真空镀膜装置,包括真空箱(1),所述真空箱(1)的一端安装在有净化装置(6)和气化镀层装置(7),真空箱(1)的另一侧设置有夹具工装(13),真空箱(1)的上端设置有真空泵(2),其特征在于:所述真空箱(1)靠近净化装置(6)的一侧端面上竖直设置有竖板(3),真空箱(1)的另一侧端面上横向设置有横板(4),所述夹具工装(13)的内腔中滑动安装有伸缩块(17),所述伸缩块(17)内转动安装有工件(15),伸缩块(17)的另一端连接伸缩杆(12),所述净化装置(6)和气化镀层装置(7)滑动安装在竖板(3)上,所述横板(4)上滑动安装有线性分布的三组夹具工装(13),横板(4)位于真空箱(1)的前后两侧外壁设置有一对贯穿槽(20)。

2.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述竖板(3)和横板(4)上均设置有相互对称的一对密封插槽(14),所述净化装置(6)和气化镀层装置(7)、夹具工装(13)的端面分别插接在密封插槽(14)中。

3.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:线性分布的三组所述夹具工装(13)的左侧端面一体成型,夹具工装(13)的的内腔开口尺寸与真空箱(1)的内径相同。

4.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述夹具工装(13)内腔的伸缩块(17)中设置有安装底座(16),所述工件(15)竖直插接在安装底座(16)的上端。

5.根据权利要求4所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述安装底座(16)的上端滑动插接有插接立柱(19),安装底座(16)的内腔中设置有弹簧(18),所述插接立柱(19)竖直安装在弹簧(18)的上端,所述工件(15)插接在插接立柱(19)的外壁上。

6.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述净化装置(6)和气化镀层装置(7)的外壳一体成型,且净化装置(6)和气化镀层装置(7)的外壁竖直连接有升降柱(8),所述升降柱(8)的下端与竖板(3)的下端面齐平。

7.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述伸缩块(17)的外侧连接有伸缩杆(12),所述伸缩杆(12)延伸至夹具工装(13)的外侧,且伸缩杆(12)的端部滑动安装在限位板(5)上。

8.根据权利要求7所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述伸缩杆(12)的端部固定安装有滑块(10),所述限位板(5)上设置有限位滑槽(11),所述滑块(10)滑动安装在限位滑槽(11)中。

9.根据权利要求8所述的一种连续式真空镀膜装置,其特征在于:所述滑块(10)的右侧外壁沿限位滑槽(11)延伸方向设置有液压缸(9),所述液压缸(9)的伸缩端固定在滑块(10)上,液压缸(9)的另一端固定在限位板(5)的后侧外壁上。

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