[实用新型]一种连续式真空镀膜装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱，真空箱的一端安装在有净化装置和气化镀层装置，真空箱的另一侧设置有夹具工装，真空箱的上端设置有真空泵，有益效果为：本实用新型通过设置带有密封滑动板的真空箱，配合升降柱的上下升降，从而在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序的切换；通过设置液压缸带动的三组工装夹具，从而避免真空箱内腔在进行工件装夹或拆卸时与外界的连通，实现连续式真空镀膜的目的，配合限位板上滑块的配合，使得夹具位置切换更加平稳，配合密封插槽的位置限定，防止脱落，提高了切换的安全性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种连续式真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜时通过物理过程将靶源物质气化，将讲气化后的原子或分子由靶源沉积到基材表面的过程，它的作用是在基材表面获得具有高强度、耐磨性、散热性、耐腐蚀性等优异性能的涂层。

在进行真空镀膜过程中，需要在真空环境下进行，而无论是净化过程、气化过程或是工件的更换，都需要破坏真空环境，使得真空泵循环工作，构筑真空环境，这样不均造成资源的浪费，同时大大降低了生产加工的效率。

为此提供一种连续式真空镀膜装置，以解决连续真空镀膜的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种连续式真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱，所述真空箱的一端安装在有净化装置和气化镀层装置，真空箱的另一侧设置有夹具工装，真空箱的上端设置有真空泵，所述真空箱靠近净化装置的一侧端面上竖直设置有竖板，真空箱的另一侧端面上横向设置有横板，所述夹具工装的内腔中滑动安装有伸缩块，所述伸缩块内转动安装有工件，伸缩块的另一端连接伸缩杆，所述净化装置和气化镀层装置滑动安装在竖板上，所述横板上滑动安装有线性分布的三组夹具工装，横板位于真空箱的前后两侧外壁设置有一对贯穿槽。

优选的，所述竖板和横板上均设置有相互对称的一对密封插槽，所述净化装置和气化镀层装置、夹具工装的端面分别插接在密封插槽中。

优选的，线性分布的三组所述夹具工装的左侧端面一体成型，夹具工装的的内腔开口尺寸与真空箱的内径相同。

优选的，所述夹具工装内腔的伸缩块中设置有安装底座，所述工件竖直插接在安装底座的上端。

优选的，所述安装底座的上端滑动插接有插接立柱，安装底座的内腔中设置有弹簧，所述插接立柱竖直安装在弹簧的上端，所述工件插接在插接立柱的外壁上。

优选的，所述净化装置和气化镀层装置的外壳一体成型，且净化装置和气化镀层装置的外壁竖直连接有升降柱，所述升降柱的下端与竖板的下端面齐平。

优选的，所述伸缩块的外侧连接有伸缩杆，所述伸缩杆延伸至夹具工装的外侧，且伸缩杆的端部滑动安装在限位板上。

优选的，所述伸缩杆的端部固定安装有滑块，所述限位板上设置有限位滑槽，所述滑块滑动安装在限位滑槽中。

优选的，所述滑块的右侧外壁沿限位滑槽延伸方向设置有液压缸，所述液压缸的伸缩端固定在滑块上，液压缸的另一端固定在限位板的后侧外壁上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过设置带有密封滑动板的真空箱，配合升降柱的上下升降，从而在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序的切换；